Verhindern, dass etwas explodiert: IR-Trocknung in der Fertigung Wenn man Wafer oder Substrate in einer Fertigungsanlage trocknet, kennt man das...

MEMS-Wafer trocknen – ohne Probleme Wenn man MEMS-Sensorwafer trocknet, spielt man im Grunde ein Spiel mit hohen Risiken – man muss dafür sorgen,...