در کارخانههای تولیدی، فرآیند خشک شدن پلیایمید، صرفاً یک مرحله حرارتی ساده نیست؛ بلکه یک وعده مربوط به کنترل ابعاد است. این وعده، تعادل ابعادی محصول را با ثبات دما مرتبط میکند. اگر پروفایل حرارتی تغییر کند، استرس ایجاد میشود، ابعاد محصول ناپایدار میشود و کیفیت تولید کاهش مییابد؛ این امر در تمام مراحل لیتوگرافی و سایر مراحل تولید نیز اتفاق میافتد. وقتی چنین اتفاقی میافتد، نه تنها یک محموله از محصولات از بین میرود، بلکه زمان تولید نیز از بین میرود و ظرفیت اتاقهای پاکسازی نیز هدر میرود؛ چیزی که نمیتوانیم از دست بدهیم.
آنچه اهمیت دارد: ما سیستم خشک کردن را بر اساس پروفایلهای حرارتی قابل تکرار و یکنواختی در سطح ویفرها طراحی کردهایم؛ هدف ما، کنترل دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است. گرمایش با امواج مادون قرمز، انرژی را مستقیماً به لایههای پلیایمید منتقل میکند؛ بنابراین زمان گرم شدن کوتاه میشود و دمای اتاق و تجهیزات مربوطه نیز ثابت میماند.
منطقه گرم، برای استفاده در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱–۱۰۰ طراحی شده است. مواد و سطوح مورد استفاده، به گونهای انتخاب شدهاند که تولید ذرات و گازهای مضر کاهش یابد. کنترل فرآیند، از طریق حسگرهای دقیق، کنترل حلقه بسته و دستورالعملهای مشخص، انجام میشود؛ بنابراین هر بار، فرآیند خشک کردن به یک شکل انجام میشود.
چرا این روش در کارخانههای تولیدی با حجم بالا مفید است: در فرآیند خشک شدن پلیایمید، مزایای قابل اندازهگیری وجود دارد: کنترل بهتر دما، کاهش مواد بازیافتی و کاهش نیاز به تعمیرات مکرر. فرآیندهای تکرارپذیر، از فوتورزیست و لایههای زیرین محافظت میکنند و ابعاد محصول را یکنواخت نگه میدارند.
چرخههای گرم شدن کوتاهتر و گرمایش کارآمد، مصرف انرژی را کاهش میدهد؛ همچنین این سیستم برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است؛ بنابراین مشکلات کمتری وجود دارد و نیاز به تعمیرات کمتری است. این ماژول به عنوان یک واحد حرارتی قابل تعویض طراحی شده است؛ همچنین با استانداردهای بینالمللی تجهیزات سازگار است و عملکرد و زمان کارکرد مشابهی دارد.
جزئیات عملی که باید در نظر گرفته شود: این ماژول نیاز به شرایط مناسب از نظر برق، سیستم خنککنندگی و سیستم تخلیه گاز دارد؛ این شرایط باید با استانداردهای تجهیزات مربوطه همخوانی داشته باشد. راهاندازی این ماژول نیز بخشی از فرآیند است؛ شما باید دستورالعملها را مشخص کنید، حسگرها را تنظیم کنید و تغییرات دمایی را در نظر بگیرید.
جرم حرارتی مواد و امپدانس تابشی لایههای پلیایمید، میتواند رفتار فرآیند گرم شدن را تغییر دهد؛ ما پروفایل حرارتی را یک بار تنظیم کرده و سپس آن را ثبت میکنیم تا بتوانیم آن را از یک خط تولید به خط دیگر منتقل کنیم.