در کارخانههای تولید، حتی تغییر جزئی در دما میتواند باعث اختلال در عرض خطوط تولید شود و در نتیجه منجر به اتلاف مقادیر زیادی محصول شود. گرمکنهای موجود در کابینتهای شیمیایی، صرفاً برای راحتی استفاده نیستند؛ بلکه ابزارهایی برای کنترل دما هستند و از دمای مناسب برای هر ویفری که از آنجا عبور میکند، محافظت میکنند.
موارد مهم از نظر فنی:
ما این گرمکنها را با استفاده از عناصر مادون قرمز کوتاهامواج درون پوشش کوارتزی ساختهایم. این روش باعث میشود پاسخ سریعی از سوی گرمکن صورت گیرد و انتقال گرما به صورت منظم انجام شود. هدف، داشتن یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، قابلیت تکرارپذیری دما نیز مهم است تا در صورت تغییر فرد مسئول، دما همچنان یکنواخت باقی بماند.
سیستمهای کنترلی، مقادیر دمایی لازم برای فرآیندهای پیشگرمایش و گرمایش کامل فوتورزیست را تنظیم میکنند؛ بنابراین انرژی مورد نیاز برای فرآیند، در هر بار تولید یکسان باقی میماند. این سیستمها برای فضاهای پاکسازی شده در کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب هستند؛ همچنین، استفاده از موادی با گازدهی کم، باعث کاهش تعداد ذرات موجود در فضا میشود. عدم تولید هیچ ذرهای، یک شرط ضروری برای عملکرد صحیح سیستم است؛ ما این موضوع را از طریق نظارت مداوم بررسی میکنیم.
چرا این سیستمها در محیطهای تولیدی موفق عمل میکنند؟
در فرآیندهای لیتوگرافی، دقت در کنترل دما بسیار مهم است؛ همچنین، فرآیندهای مربوط به فوتورزیست نیاز به گرمایش دقیق دارند. این گرمکنها، دمای فوتورزیست و مواد مربوط به چسبندگی را پایدار نگه میدارند؛ این امر باعث کاهش نوسانات در عرض خطوط تولید و افزایش بازدهی میشود. پاسخ سریع گرمکنها، زمان لازم برای گرمایش را کاهش میدهد؛ بنابراین، سرعت تولید افزایش مییابد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا گرما در زمان لازم تأمین میشود و در حالت استراحت، انرژی هدر نمیرود. قابلیت اطمینان این سیستمها، از طریق عملکرد ۲۴/۷ آنها اندازهگیری میشود؛ همچنین، از قطعاتی استفاده میشود که باعث کاهش نوسانات دما میشوند.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
هنگام نصب این گرمکنها، باید ابعاد کابینت و مسیرهای تخلیه گاز، با محدودیتهای جریان هوا و لرزش در کارخانه سازگار باشد. برخی از ترکیبات شیمیایی نیاز به سازگاری با سطوح و مهرهای گرمکنها دارند؛ بنابراین، ما مواد مناسب را تعیین کرده و جدول سازگاری را نیز ارائه میدهیم. راهاندازی این سیستمها نیز سریع است؛ کافی است حلقههای کنترل PID را تنظیم کرده و نقشههای یکنواختی دما را بررسی کنیم. پس از آن، فرآیند تولید قابل تکرار خواهد بود.