Jak zabránit výbuchům: Sušení pomocí infračerveného záření v továrně na výrobu čipů
Pokud sušíte wafery nebo substráty v továrně na výrobu čipů, znáte ten problém. Obvykle se potýkáte s odpadky po čištění, které jsou – abychom to řekli upřímně – velmi hořlavé. V takovém prostředí není běžná infračervená lampa jen nástrojem; je to spíše zdroj nebezpečí. Stačí jeden drobný jiskra nebo horký kontakt a máte problém.
My tento problém řešíme tím, že zcela odmítáme používání lamp na otevřeném prostranství. Místo toho používáme uzavřené infračervené systémy.
Tajemství spočívá v utěsňování
Nepoužíváme prostě jen kryt nad lampou – to nestačí. Používáme hermeticky uzavřené obaly – obvykle z křemene nebo safíru – umístěné uvnitř protivýbušného pouzdra. Lze to považovat za fyzickou bariéru mezi teplem a páry. Tato bariéra drží tyto volatilní chemické látky daleko od elektrických kontaktů. I kdyby lampa přestala fungovat, utěsňování zaručuje, že do komory neuniknou žádné jiskry ani nadměrné teplo. Je to prostě způsob, jak zajistit klid.
Jak se vypořádat s teplem
Zde mnoho zařízení selhává. Lampy s vysokým výkonem dosahují extrémně vysokých teplot. Pokud se samotné pouzdro stane zdrojem vznícení, jsme zpět na začátku.
Abychom tomu zabránili, používáme slitiny a podpěry určené speciálně k odvodům tepla. Udržujeme tak malou plochu kontaktu mezi lampou a substrátem. To umožňuje teplo směrovat přímo k substrátu, zatímco vnější část pouzdra zůstává dostatečně chladná, aby nevyvolala vznícení.
Kompromis
Ale existuje jeden problém. Když mezi vlákno a cíl umístíme vrstvu materiálu, ztrácíme trochu z té intenzity tepla. Nedostanete tedy 100 % účinnosti, kterou byste měli při použití obyčejné lampy.
Možná budete muset zvýšit výkon lampy nebo nechat součásti pod teplem o něco déle, aby dosáhly požadované úrovně sucha. Je to malá cena za proces, který nezpůsobí výbuch v laboratoři.
Ujistěte se prosím, že používáte správné protivýbušné vedení a dvojnásob pečlivě zkontrolujte kalibraci senzorů s ohledem na tu dodatečnou vzdálenost. Pokud to uděláte, váš proces bude fungovat bez problémů a bez obav z požáru.