Na výrobní ploše není sušení fotorezistu volitelné – je to tepelný rozpočet. Odchylka 2 °C v měkkém nebo tvrdém sušení zničí kontrolu kritických rozměrů a přitáhne s sebou defekty litografie. Naši pec jsme postavili kolem infračerveného ohřevu, který je vyladěný tak, aby dosahoval submilimetrové tepelné uniformity. Výhodou je opakovatelný teplotní profil napříč wafers, šarže za šarží.
Co je technicky důležité
Používáme ohřev v blízkém infračerveném spektru (NIR), abychom umístili teplo přesně tam, kde ho potřebujete – na procesní povrch – takže tepelný zpoždění a chladná místa se nestanou vašimi skrytými proměnnými. To vám poskytuje stabilní, opakovatelný tepelný prostor a umožňuje to těsnější procesní okna. Kompatibilita s čistým prostorem třídy 1–100 je zakomponována do designu: proudění vzduchu, těsnění a materiály komory jsou vybrány tak, aby generování částic bylo co nejblíže nule. V produkčních termínech to znamená méně odmítnutí a méně přepracování.
Proč to funguje v fab labu
Ve fab labu nemůžete pracovat s konvenční pecí. Potřebujete nástroj, který se chová jako procesní nástroj. Tato pec udržuje teploty sušení fotorezistu s opravdovou přesností, takže šířka čáry zůstává konzistentní, skumování klesá a adheze se zlepšuje. Spotřeba energie je optimalizována rychlým zahříváním a minimálními ztrátami v pohotovostním režimu, a systém je navržen pro 24/7 spolehlivost. Náš cíl je nulová neplánovaná prostoj.
Na co se musíte připravit
Pec dodává, ale potřebuje stabilní inženýrské zdroje: čistou energii, adekvátní chlazení a odvod spalin, který odpovídá nástroji. Integrace je přímočará pro většinu fab nástrojových řetězců, ale stále potřebujete ověření na místě pro specifikace napětí, plynu a rozhraní. Sestavte svůj procesní tým na krátké uvedení do provozu – jakmile přizpůsobíte nástroj lince, opakovatelnost se stane výchozím stavem, nikoli výjimkou.