V prostředí výroby může i mírná změna teploty během procesu zahřívání fotorezistu způsobit takové odchylky v šířce linií, že to vede ke ztrátám velkého množství produktů. Ohřívače v chemických skříních nejsou jen prostředkem na zlepšení pohodlí – jedná se o nástroje určené k řízení procesu, které zajišťují správnou teplotní hodnotu u každé desky, která prochází tímto procesem.
Co je z technického hlediska důležité
Ohřívače v chemických skříních jsou konstruovány s použitím krátkovlnných infračervených prvků umístěných uvnitř sklovinového obalu. Díky tomu dochází k rychlé reakci a efektivnímu přenosu tepla. Cílem je dosažení teplotní rovnoměrnosti na úrovni desek v rozmezí ±0,1 °C a také zachování stabilní teploty i při změnách obsluhy. Ovládací systémy zajišťují konstantní hodnoty teploty během předehřevu a zahřívání fotorezistu, takže energie spotřebovaná při procesu zůstává konstantní. Systém je určen pro použití v čistých prostorách třídy 1–100 – s hermeticky uzavřenými spoji a materiály s nízkou mírou uvolňování látek, aby se minimalizoval počet částic. Nulová produkce částic není jen reklamní slogan – jedná se o požadavek designu, který ověřujeme pomocí kontroly v průběhu procesu.
Proč to funguje tam, kde se to používá
Při litografii je nutné dodržovat přesné hodnoty teploty, stejně jako při procesech s fotorezistem, které vyžadují přesný předehřev a zahřívání. Tyto ohřívače stabilizují teplotu fotorezistu a látek podporujících jejich adhezi, čímž se snižují odchylky v šířce linií a zvyšuje se produktivita. Rychlá reakce ohřívačů zkracuje dobu zahřevu bez nadměrného zvyšování teploty, čímž se zlepšuje efektivita procesu. Spotřeba energie klesá, protože teplo je dodáváno pouze v okamžiku potřeby, nikoli v režimu čekání. Spolehlivost systému je měřena 24/7 provozem – komponenty jsou vybrány tak, aby se eliminovaly odchylky a minimalizoval se neplánovaný časový odstávky.
Na co je potřeba myslet
Při instalaci je potřeba vzít v úvahu rozměry skříně a směr odtoku vzduchu v souladu s požadavky na provozní podmínky v továrně. Některé chemické složení vyžadují ověření kompatibility s povrchy ohřívačů a těsněními – proto specifikujeme vhodné materiály a poskytujeme tabulku kompatibility. Nasazování systému je rychlé – stačí nastavit parametry PID a ověřit rovnoměrnost teploty v provozním režimu. Jakmile je to nastaveno, proces zůstává opakovatelný.