ระยะห่างด้านความปลอดภัยสำหรับการให้ความร้อนกับแผ่นเวเฟอร์

ในขั้นตอนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น ระยะห่างระหว่างหลอดไฟกับแผ่นวัสดุไม่ใช่เรื่องเล็กๆ เพราะมันเป็นปัจจัยสำคัญที่ต้องปรับให้เหมาะสม...