ชิ้นส่วนที่ใช้ในการทำความร้อนสำหรับสารต้านรังสียูวีแบบเข้มข้น (EUV)

ในกระบวนการลิโทกราฟีแบบ EUV การควบคุมอุณหภูมิของอุปกรณ์ที่ใช้ในการระเหยสารกันน้ำไม่ใช่เพียงขั้นตอนหนึ่งเท่านั้น...