Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Ketika kita mengeringkan wafer sensor MEMS, sebenarnya kita sedang bermain permainan yang sangat berisiko—yakni memastikan sensor tersebut tidak rosak. Kita perlu menghilangkan kelembapan daripada wafer tersebut, tetapi pada masa yang sama, kita tidak boleh membiarkan sebarang kotoran tertinggal. Selain itu, kita juga tidak boleh memberikan tekanan mekanikal yang berlebihan kepada wafer tersebut agar ia tidak rosak.
Itulah sebabnya kita menggunakan pemanas inframerah berfrekuensi tinggi. Berbeza dengan kaedah penggunaan udara panas konvensional, pemanas inframerah menggunakan radiasi cahaya. Ini merupakan cara yang lebih efektif. Kita dapat “berkomunikasi” secara langsung dengan molekul air yang ada pada permukaan wafer, dan menyuruhnya bergerak.
Proses Pembersihan yang Lebih Baik
Kaedah pengeringan tradisional biasanya menyebabkan masalah. Kita perlu menggunakan bahan kimia berbahaya atau sistem penyejukan yang menggunakan tenaga yang banyak. Sistem ini juga menghasilkan bahan kimia berbahaya di sekelilingnya.
Sebaliknya, kaedah inframerah merupakan cara yang lebih baik. Ia merupakan proses pengeringan yang “kering”. Tidak ada bahan kimia yang bocor, tiada katalis berbahan plumbum—hanya cahaya dan haba sahaja yang digunakan.
Yang menariknya, kita hanya memanaskan bahagian yang benar-benar perlu dipanaskan. Dengan cara ini, kita dapat menjimatkan tenaga, dan juga melindungi alam sekitar.
Keseimbangan yang Penting
Namun, ini bukanlah sesuatu yang mudah. Untuk mempercepatkan proses pemeluwapan air, kita gunakan lampu kuarsa berkuasa tinggi. Namun, kuasa yang digunakan ini boleh merosakkan struktur MEMS jika digunakan secara tidak tepat. Oleh itu, kita memerlukan pengawal PID yang tepat untuk memastikan semuanya berjalan lancar.
Penjimatan Ruang di Makmal
Salah satu kelebihan utama kaedah ini ialah ia membolehkan kita menjimatkan ruang. Memandangkan kita tidak perlu menggunakan saluran udara yang besar atau alat penyejukan yang besar, maka ruang yang diperlukan untuk stesen pengeringan menjadi lebih kecil. Ini memudahkan pengurusan makmal. Selain itu, kaedah ini juga membantu menjimatkan tenaga, tanpa menjejaskan kelajuan pengeluaran. Ia merupakan cara yang lebih efektif untuk membina alat seperti ini.