와이어의 경화를 올바르게 수행하는 방법: 핵심은 반사판에 있습니다.
우리 대부분은 반도체를 건조시키는 데 적외선을 사용합니다. 왜냐하면 화학 용제나 연소 과정이 없으며, 단지 전기 에너지가 열로 변환되기 때문입니다. 이 방식은 환경 친화적이며, 납이 포함되지 않아 규제를 준수하기도 쉽습니다.
하지만 문제는, 램프가 모든 공을 독차지한다는 점입니다. 하지만 실제로 중요한 역할을 하는 것은 반사판입니다.
열을 낭비하지 마세요.
정밀한 반사판이 없이 램프를 사용한다면, 에너지의 절반을 그냥 낭비하는 셈입니다. 생각해보세요. 많은 광자들이 그냥 뒤로 튕겨져 나가서 아무런 역할도 하지 못합니다. 우리는 그러한 낭비된 에너지를 잡아서 다시 웨이퍼 쪽으로 보내도록 반사판을 설계합니다. 이렇게 하면 전력을 더 세게 사용하지 않고도 열 효율을 높일 수 있습니다. 게다가, 웨이퍼가 더 빠르게 가열됩니다. 이는 매우 중요한데, 웨이퍼가 오랫동안 고온 상태에 있으면 변형되거나 손상될 가능성이 높기 때문입니다. 누구도 그런 상황을 원하지 않습니다.
재료에 대한 세부 사항
우리는 보통 고순도 알루미늄이나 금으로 코팅된 기판을 사용합니다. 왜냐하면 이러한 재질들이 단파 및 중파 적외선을 효과적으로 반사하기 때문입니다. 금속 자체만큼이나 형태도 중요합니다. 우리는 열이 웨이퍼에 골고루 전달되도록 포물선이나 타원형의 형태를 사용합니다. 만약 형태가 몇 밀리미터만 어긋나도, 과열된 부분이 생깁니다. 그리고 과열된 부분이 있으면 경화 과정이 고르지 않아져서 결국 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다.
작업 환경에 적합한 설정을 선택하세요.
높은 반사율을 가진 설정의 가장 큰 장점은, 전력을 줄여도 여전히 필요한 처리 속도를 유지할 수 있다는 것입니다. 그러면 에너지 비용도 줄어듭니다.
이제 선택해야 할 문제가 남았습니다.
금으로 코팅된 반사판은 성능 면에서 최고의 선택입니다. 하지만 너무 연약해서, 작업 환경이 거칠거나 유지보수 과정에서 손상될 수 있습니다. 그런 경우에는 아노다이즈된 알루미늄을 사용하는 것이 좋습니다. 효율은 조금 떨어지지만, 내구성이 뛰어납니다.
마지막 팁: 냉각 팬이 집중된 열을 감당할 수 있는지 확인하세요. 에너지를 절약하려다가 램프가 손상되는 것은 원치 않을 것입니다.