고순도 석영 가열 소자

300mm 공정에서는, 아주 작은 온도 변화라도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 그렇기 때문에 히터는 항상 깨끗한 상태를 유지하며, 반복적으로 일정한 온도를 유지해야 합니다. 실제로 중요한 것은 무엇인가? 우리는 가스 방출과 금속 오염을 최소화하기 위해 고순도...