적외선을 활용해 무연 처리를 제대로 수행하는 방법
웨이퍼를 다루는 작업을 할 때, 엄격한 환경보호 규정이나 무연 요구사항을 준수해야 한다면, 기존의 대류식 오븐은 그다지 효과적이지 않다는 것을 아실 것입니다. 대류식 오븐은 처리 속도가 느리고 에너지도 많이 소모됩니다.
그래서 우리 대부분은 적외선을 활용한 처리 방식으로 전환했습니다.
진짜 비결은 이렇습니다. 적외선은 웨이퍼 주변의 공기를 가열하지 않고, 에너지를 직접 웨이퍼 표면에 전달합니다.
이것은 열에 대한 우리의 인식을 완전히 바꾸는 것입니다.
거대한 금속 챔버를 사우나처럼 만들기 위해 수킬로와트의 에너지를 사용하는 대신, 단파 및 중파 램프를 사용하여 포토레지스트나 접착제가 있는 부분에만 에너지를 집중시킵니다. 이렇게 하면 도구 자체가 아닌 기판만을 가열할 수 있습니다. 이 방식은 더 깨끗하고, 더 빠르며, 예전에 사용하던 유해한 용매 기반의 촉매제도 필요 없습니다.
하지만 단순히 열을 가하는 것만으로는 안 됩니다. 그렇게 하면 웨이퍼가 변형되거나 타버릴 수 있습니다.
이 문제를 해결하기 위해, 우리는 적외선 배열과 고속 온도 센서를 함께 사용합니다. 이 램프들은 거의 즉시 최대 출력으로 작동하기 때문에, 에너지를 조절할 수 있습니다. 마치 조명의 밝기를 조절하는 것과 같아서, 온도를 매우 정확하게 조절할 수 있습니다.
주의해야 할 점이 있습니다. 바로 발열량입니다. 이러한 배열들은 아주 작은 공간에 많은 열을 생성합니다. 만약 케이스에 충분한 열 배출 기능이나 강력한 공기 냉각 장치가 없다면, 필라멘트가 예상보다 훨씬 빨리 손상될 수 있습니다.
그리고 무연 처리와 관련된 문제도 있습니다. 무연 납땜재와 접착제는 더 높은 온도와 빠른 가열 속도가 필요합니다. 적외선은 이러한 문제를 쉽게 해결할 수 있습니다. 왜냐하면 전체 기계가 과열되지 않으면서도 필요한 열을 공급할 수 있기 때문입니다.
그 결과, 작업 환경이 훨씬 깨끗해집니다. 연기도 없고, 납 기반의 잔여물도 없습니다. 오직 광자들만이 작업을 수행합니다. 정말 효과적인 방법입니다.