为何在晶圆加工中采用红外线技术

在生产线中，热漂移不仅会体现在图表上，还会悄悄降低成品率。在光刻胶软化处理过程中，如果温度变化达2°C，就可能导致整个光刻过程的失败。而在晶圆干燥过程中，如果出现局部低温现象，就会产生类似胶水一样的痕迹和杂质。红外加热技术则能有效解决这些问题。 从技术角度来看，重要的是什么？ 红外加热技术能够将能...