Làm thế nào để xử lý việc sấy khô wafer một cách hiệu quả? Điều quan trọng nhất chính là bộ phản chiếu ánh sáng.
Hầu hết chúng ta đều sử dụng phương pháp sấy khô bằng tia hồng ngoại vì phương pháp này không gây ô nhiễm môi trường. Không cần sử dụng chất hóa học hay quá trình đốt cháy – chỉ cần sử dụng điện để tạo ra nhiệt. Điều này giúp giữ cho quy trình sản xuất “xanh” và tuân thủ các quy định về việc loại bỏ chất lead trong sản phẩm.
Nhưng có một điều cần lưu ý: mặc dù bóng đèn được coi là yếu tố quan trọng, nhưng thực ra công việc chính lại nằm ở bộ phản chiếu ánh sáng.
Đừng lãng phí năng lượng của bạn! Nếu bạn sử dụng bóng đèn mà không có bộ phản chiếu chính xác, thì bạn đang lãng phí một nửa năng lượng của mình.
Hãy tưởng tượng xem: rất nhiều photon bị phản xạ ngược trở lại, không mang lại hiệu quả gì cả. Chúng tôi thiết kế bộ phản chiếu sao cho có thể thu hồi lại năng lượng bị lãng phí và đưa nó trở lại phía wafer.
Điều này giúp tăng cường lượng nhiệt được truyền sang wafer, mà bạn không cần tăng công suất bóng đèn lên. Ngoài ra, quá trình sấy khô cũng diễn ra nhanh hơn. Điều này rất quan trọng, vì càng để wafer trong trạng thái bị chiếu nhiệt lâu, thì khả năng wafer bị biến dạng hoặc bị tổn thương càng cao. Ai cũng không muốn gặp phải tình huống đó.
Về vật liệu sử dụng: Chúng tôi thường sử dụng vật liệu bằng nhôm có độ tinh khiết cao hoặc vật liệu được phủ vàng. Tại sao ư? Bởi vì chúng có khả năng phản xạ tia hồng ngoại hiệu quả nhất.
Hình dạng của vật liệu cũng rất quan trọng. Chúng tôi sử dụng hình parabol hoặc elip để đảm bảo rằng nhiệt được truyền đều lên wafer. Nếu hình dạng của vật liệu không chính xác, thì sẽ xuất hiện những điểm nóng, và điều này dẫn đến việc wafer bị sấy khô không đồng đều. Kết quả là hàng loạt wafer bị hỏng, và công việc sản xuất sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng.
Chọn thiết bị phù hợp cho môi trường sản xuất của bạn: Ưu điểm lớn nhất của bộ phản chiếu có độ phản chiếu cao là bạn có thể giảm công suất bóng đèn mà vẫn duy trì được tốc độ sản xuất như mong muốn. Chi phí năng lượng của bạn cũng sẽ giảm đi.
Bây giờ, bạn cần đưa ra quyết định. Bộ phản chiếu được phủ vàng là lựa chọn tốt nhất về mặt hiệu suất. Nhưng chúng khá mềm, và nếu môi trường sản xuất của bạn khá khắc nghiệt, chúng có thể bị trầy xước.
Trong trường hợp đó, hãy chọn vật liệu nhôm anodized. Mặc dù hiệu suất của nó kém hơn một chút, nhưng nó rất bền và có thể chịu được các tác động khắc nghiệt.
Một lưu ý cuối cùng: hãy đảm bảo rằng các quạt làm mát có thể xử lý được lượng nhiệt cao được tạo ra. Bạn không muốn bóng đèn bị hỏng khi bạn cố gắng tiết kiệm năng lượng.