Giảm lượng khí carbon trong quy trình sản xuất bán dẫn (mà không làm hỏng thiết bị)
Khi xử lý các bước rửa trong quy trình sản xuất bán dẫn, người ta cần tìm ra sự cân bằng giữa việc loại bỏ hơi ẩm trên wafer một cách nhanh chóng và việc tránh mọi nguy cơ nhiễm bẩn.
Trong thời gian dài, mọi người chỉ sử dụng phương pháp sưởi bằng không khí nóng. Nhưng chúng tôi đã tìm ra phương pháp tốt hơn: sử dụng đèn hồng ngoại có khả năng chống nước.
Những thách thức trong môi trường ẩm ướt
Các thiết bị dùng để rửa wafer rất dễ bị hư hại do độ ẩm cao và các chất hóa học. Những chiếc đèn thông thường sẽ không thể hoạt động hiệu quả trong môi trường như vậy. Để tránh tình trạng đèn bị hỏng sớm, chúng tôi sử dụng các vỏ bọc bằng thạch anh và các bộ phận kín khít để ngăn hơi ẩm tiếp xúc với các điện cực. Ngoài ra, chúng tôi còn sử dụng các đèn có công suất cao. Tại sao ư? Bởi vì chúng ta muốn làm khô bề mặt wafer một cách nhanh chóng. Càng ít thời gian wafer ở trong môi trường ẩm ướt, tỷ lệ thành công càng cao.
Vấn đề liên quan đến tính chống nước
Khi nói về tính chống nước, chúng tôi không đề cập đến áo mưa. Chúng tôi muốn nói đến các bộ phận kín khít có khả năng ngăn hơi nước và nước bắn vào bên trong thiết bị.
Nhưng cũng có một vấn đề: thạch anh sẽ giãn nở khi bị nóng. Nếu các bộ phận kết nối quá chặt, ống thạch anh có thể bị vỡ trong quá trình sưởi. Đó là một sai sót gây phiền toái; chúng tôi đảm bảo rằng bạn sẽ tránh được điều này bằng cách điều chỉnh tỷ lệ giãn nở một cách chính xác.
Tiết kiệm năng lượng
Việc chuyển từ các lò sưởi sử dụng không khí nóng sang phương pháp sưởi bằng đèn hồng ngoại là một bước tiến lớn cho môi trường. Thay vì lãng phí năng lượng để sưởi toàn bộ không khí trong buồng sản xuất, phương pháp này giúp truyền năng lượng trực tiếp đến bề mặt wafer. Điều này giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng trên mỗi wafer, từ đó giúp dễ dàng đạt được các tiêu chuẩn “nhà máy xanh”.
Lưu ý: Những chiếc đèn này phát ra rất nhiều nhiệt. Nếu hệ thống làm mát và thông gió không đủ hiệu quả, các cảm biến xung quanh sẽ bị quá nhiệt. Để duy trì sự ổn định, chúng tôi khuyên bạn nên sử dụng hệ thống điều khiển PID chính xác. Hệ thống này giúp điều chỉnh công suất sao cho đạt được nhiệt độ mong muốn mà không gây ra các vấn đề khác.