Đưa nhiệt lượng đến đúng vị trí cần thiết
Trong nhà máy sản xuất wafer, việc tăng công suất không phải là giải pháp hiệu quả. Nếu bạn chỉ cố gắng dùng nhiều năng lượng hơn để giải quyết vấn đề, bạn chỉ đang lãng phí năng lượng mà thôi. Bí quyết thực sự nằm ở cách điều khiển các photon đó.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các lớp vật liệu bằng thủy tinh được phủ lớp vàng. Có thể coi chúng như những tấm gương, giúp ngăn nhiệt lượng lan ra khỏi thân máy và đẩy nhiệt lượng trở lại vào wafer.
Tại sao chọn vàng?
Thủy tinh thông thường chỉ để cho bức xạ hồng ngoại lan tỏa theo mọi hướng. Nhưng khi có lớp vàng mỏng phủ bên ngoài, nhiệt lượng sẽ không thể xuyên qua được. Chúng ta chọn vàng vì nó có khả năng phản chiếu bức xạ hồng ngoại tốt hơn bạc hay nhôm.
Xử lý vấn đề nhiệt lượng
Bạn không thể sử dụng bất kỳ loại kính nào cũng được. Chúng ta sử dụng thủy tinh có độ tinh khiết cao vì nó có khả năng chịu được áp lực lớn. Khi bật đèn trong nhà máy, nhiệt độ tăng lên rất nhanh. Hầu hết các vật liệu khác sẽ bị nứt vỡ dưới áp lực như vậy, nhưng thủy tinh thì có thể chịu đựng được.
Chúng ta sử dụng phương pháp phủ vàng bằng chân không để đảm bảo lớp vàng không bị bong tróc trong quá trình gia nhiệt. Nếu lớp vàng bị bong tróc, nhiệt độ của wafer sẽ giảm xuống, và quy trình sản xuất sẽ bị gián đoạn.
Những điểm cần lưu ý
Điều tốt nhất là khi các lớp vật liệu này phản chiếu nhiệt lượng hiệu quả, bạn không cần phải vận hành đèn ở mức công suất cao nhất để đạt được nhiệt độ mong muốn. Điều này giúp kéo dài tuổi thọ của các sợi wolfram.
Nhưng cũng có một điểm cần lưu ý: bạn phải giữ cho các lớp vật liệu này luôn sạch sẽ. Chỉ cần một vết dấu ngón tay hoặc vết bẩn nào trên bề mặt vàng cũng có thể gây ra vấn đề nghiêm trọng. Hãy sử dụng dung dịch IPA có độ tinh khiết cao để làm sạch mọi thứ trước khi lắp đặt. Điều này mất thêm vài phút, nhưng sẽ giúp bạn tránh được những rắc rối sau này.