Ngoài dây chuyền, một bộ gia nhiệt RTP halogen trôi dạt 0,3°C đủ để làm sai lệch hồ sơ photoresist của bạn—đế mềm, biến thể liên kết chéo trong quá trình nướng cứng. Lô hàng đột nhiên rơi vào tình thế khó khăn. Trong ngành này, sự thay đổi nhiệt độ không chỉ đang chờ để trở thành khuyết tật. Chúng đã là khuyết tật, đang trong quá trình xảy ra.
Điều gì thực sự quan trọng bên trong
Chúng tôi xây dựng các bộ gia nhiệt RTP này xung quanh các bóng đèn halogen hồng ngoại sóng ngắn và các bộ lắp quartz-halogen vì bạn cần nhiệt độ nhanh, định hướng và có độ quán tính nhiệt thấp. Các thông số kỹ thuật không thể thay đổi: đồng nhất ở mức wafer trong khoảng ±0,1°C, khả năng lặp lại nhiệt độ trong khoảng ±0,5°C, và kiểm soát gia tăng giữ cho ngân sách nhiệt độ chính xác cho các nút tiên tiến.
Thân máy gia nhiệt được làm từ quartz và gốm cao cấp, sẵn sàng cho phòng sạch loại 1–100, và được thiết kế để tạo ra không có hạt trong suốt quá trình thay đổi nhiệt độ. Chúng tôi theo dõi độ ổn định đầu ra trên 5.000+ giờ, với độ trôi dưới 5%.
Tại sao điều này quan trọng trên sàn của bạn
Bộ gia nhiệt này giúp bạn kiểm soát lại việc khắc phục sự cố RTP. Bạn có được các hồ sơ nhiệt độ sạch sẽ, lặp lại trên cả quá trình nướng mềm và nướng cứng, điều này ổn định kiểm soát kích thước quan trọng và giảm thiểu hiện tượng scumming và footing.
Đồng nhất nhiệt độ trực tiếp ảnh hưởng đến năng suất: ít wafer bị loại bỏ hơn, ít công việc sửa chữa hơn, và một lịch sử nhiệt độ có thể dự đoán được mà bạn có thể theo dõi cho mỗi lô hàng. Tiêu thụ điện năng được tối ưu hóa, và thời gian ngừng hoạt động không theo kế hoạch giảm vì thiết bị hoạt động 24/7 mà không hình thành các điểm nóng hoặc đèn giảm sáng sớm.
Dưới đây là các chi tiết thực tiễn mà bạn sẽ gặp vấn đề nếu bỏ qua
Cài đặt phụ thuộc vào việc căn chỉnh và lắp đặt đèn. Bạn phải xác định chính xác trục buồng, và xác minh rằng các bóng đèn được lắp đặt đúng—sai lệch ngay cả 0,5 mm sẽ làm dịch chuyển vùng nóng và làm hỏng tính đồng nhất.
Mong đợi một khoảng thời gian đốt cháy ngắn trong khi điện trở của đèn và sự ghép nối nhiệt ổn định. Và đảm bảo băng thông PID của bộ điều khiển của bạn phù hợp với phản ứng của đèn. Hiện tượng quá mức là kẻ thù khi bạn đang cố gắng duy trì một ngân sách nhiệt độ chặt chẽ.
Khớp giao diện kết nối và lớp điện áp với nền tảng của bạn. Nếu các đầu nối không tương thích, bạn sẽ gặp phải tiếng ồn che giấu độ trôi mà bạn đang cố gắng loại bỏ.