Tại sao chúng ta sử dụng phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại trong phòng sạch?
Khi làm việc trong nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn, “độ sạch” không chỉ là mục tiêu mà còn là yếu tố quan trọng nhất. Bất kỳ chất cặn hay hạt bụi nào cũng có thể phá hủy toàn bộ sản phẩm được sản xuất ra.
Trong thời gian dài, người ta vẫn sử dụng lò sưởi thông thường để làm nóng không gian làm việc. Nhưng vấn đề là những lò này chỉ tạo ra luồng khí nóng thôi. Điều này khiến chúng ta phải tiêu tốn rất nhiều điện năng để làm nóng không gian, trong khi wafer vẫn chưa cảm nhận được sự thay đổi nhiệt độ. Hơn nữa, việc di chuyển luồng khí này còn có thể gây ra bụi bẩn.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng phương pháp khử ẩm bằng tia hồng ngoại. Phương pháp này giúp loại bỏ hoàn toàn yếu tố không khí khỏi quá trình xử lý.
Làm nóng chính vật liệu, chứ không phải toàn bộ căn phòng
Hãy tưởng tượng bạn đang đứng dưới ánh nắng mặt trời vào một ngày lạnh. Bạn sẽ cảm nhận được hơi nóng ngay lập tức, ngay cả khi không khí xung quanh vẫn rất lạnh. Đó chính là cách mà tia hồng ngoại hoạt động. Năng lượng được truyền trực tiếp vào vật liệu cần xử lý.
Vì phương pháp này rất chính xác, chúng ta có thể loại bỏ các chất xúc tác dựa trên dung môi hoặc các chất chứa chì. Chúng ta chỉ cần điều chỉnh bước sóng sao cho phù hợp với loại vật liệu được sử dụng, và chỉ mất vài giây để đạt được nhiệt độ mong muốn. Điều này giúp tiết kiệm thời gian và năng lượng.
Giảm chi phí điện năng và giảm rủi ro
Hầu hết các lò sưởi thông thường hoạt động 24/7 để duy trì nhiệt độ ổn định, điều này gây lãng phí năng lượng khổng lồ.
Ngược lại, đèn tia hồng ngoại chỉ hoạt động khi wafer được đưa vào vị trí cần xử lý. Nhờ đó, chi phí điện năng giảm đáng kể. Vì không có quá trình đốt cháy hay luồng khí di chuyển, phòng sạch vẫn giữ được trạng thái sạch sẽ.
Những khó khăn trong việc sử dụng phương pháp này
Tuy nhiên, việc sử dụng phương pháp này không hề đơn giản. Tia hồng ngoại cường độ cao có thể tạo ra nhiệt độ cực cao tại một điểm cụ thể. Nếu wafer quá mỏng hoặc không thể chịu đựng được nhiệt độ cao, nó sẽ bị biến dạng. Để tránh điều này, chúng ta cần sử dụng bộ điều khiển PID chính xác và các thiết bị đo nhiệt độ hiệu quả.
Tôi thường khuyên nên sử dụng chế độ chiếu sáng xen kẽ. Thay vì để đèn hoạt động ở mức 100% suốt thời gian, chúng ta nên điều chỉnh mức độ chiếu sáng sao cho phù hợp. Điều này giúp kiểm soát nhiệt độ và bảo vệ thiết bị.
Cuối cùng, việc chuyển sang sử dụng tia hồng ngoại không chỉ giúp tiết kiệm năng lượng mà còn giúp loại bỏ các chất độc hại. Chỉ cần lắp đặt đúng cách và kiểm soát tốt quá trình làm mát, đây chính là phương pháp tốt nhất để hoàn thành công việc một cách hiệu quả.