Hãy ngừng để các bộ phận tạo nhiệt trong máy phá hủy chất lượng của các tấm wafer của bạn đi. Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã biết rõ những khó khăn mà nó gây ra. Chỉ cần một mảnh vụn nhỏ từ lớp phủ trên bề mặt wafer, hoặc một ít khí hóa học từ bóng đèn bị rò rỉ ra ngoài, thì chất lượng wafer sẽ bị giảm sút. Thật là khó chịu. Bạn đã chi rất nhiều tiền để xây dựng môi trường làm việc sạch sẽ, nhưng lại bị phá hủy bởi những bóng đèn thông thường.
Chúng tôi đã tìm ra cách để ngăn chặn điều này. Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao cho các bóng đèn dùng trong ngành bán dẫn. Nhờ vậy, không còn hiện tượng rò rỉ hay ô nhiễm nữa.
Độ tinh khiết quan trọng như thế nào?
Hầu hết các bóng đèn hiện nay đều sử dụng các chất kết dính hoặc lớp niêm phong rẻ tiền; những chất này sẽ bắt đầu “phát khói” khi nhiệt độ lên đến 600°C. Đó chính là nguyên nhân gây ra sự ô nhiễm. Chúng tôi đã loại bỏ hoàn toàn những chất này.
Chúng tôi sử dụng thạch anh nung chảy, với hàm lượng tạp chất kim loại gần như bằng không. Điều này rất quan trọng, vì nó giúp loại bỏ hiện tượng ô nhiễm do tạp chất di chuyển lên bề mặt wafer khi nhiệt độ cao. Các lớp niêm phong của chúng tôi được thiết kế để chịu được nhiệt độ cao mà không bị nứt vỡ hay giải phóng các hạt carbon.
Ánh sáng tập trung vào vị trí cần thiết
Những bóng đèn này phát ra bức xạ sóng ngắn có cường độ cao. Điều tuyệt vời là chúng chỉ làm nóng chính bề mặt wafer, chứ không phải toàn bộ không khí trong phòng.
Quá trình làm nóng diễn ra rất nhanh. Vì vậy, hệ thống HVAC không cần phải hoạt động quá tải để kiểm soát nhiệt độ. Điều này giúp bạn có thể kiểm soát chính xác nhiệt độ cần thiết để làm khô wafer hoặc xử lý các chất cần thiết cho quá trình sản xuất bán dẫn.
Một vài điều cần lưu ý
Thạch anh có độ tinh khiết cao thì rất tốt để tạo nhiệt, nhưng nó lại khá giòn. Nó không thể chịu được các tác động mạnh. Nếu máy của bạn rung động trong quá trình khởi động hoặc tắt máy, thì ống của bóng đèn có thể bị vỡ. Hãy đảm bảo rằng các giá đỡ của bóng đèn được gia cố tốt. Tôi muốn nhấn mạnh điều này thật nhiều lần.
Ngoài ra, những bóng đèn này có nhiệt độ rất cao, vì vậy hệ thống làm mát cũng phải được kiểm tra kỹ lưỡng. Nếu hệ thống làm mát không được thiết kế đúng cách, thì các ổ cắm bóng đèn sẽ bị nóng chảy.
Nếu bạn muốn thay thế các bóng đèn hiện tại của mình, thì những bóng đèn này được thiết kế để thay thế một cách dễ dàng. Bạn chỉ cần kiểm tra kích thước và công suất của chúng là được.