Зменшення викидів вуглецю під час виробництва напівпровідників (без пошкодження обладнання)
Під час процедур промивання в напівпровідниковій промисловості необхідно знайти правильний баланс. Потрібно якомога швидше позбутися вологи з поверхні пластини, але при цьому не допускати жодного забруднення.
Довгий час люди користувалися методом конвективного нагрівання – просто нагріванням повітря навколо пластини. Але ми знайшли кращий спосіб: використання водонепроникливих інфрачервоних ламп.
Проблеми, пов’язані з вологим середовищем
Процедури промивання є дуже складними для обладнання. Через постійну вологість та хімічні пари звичайні лампи просто не витримують таких умов. Щоб уникнути цього, ми використовуємо спеціалізовані кварцові корпуси та герметичні ущільнення. Це дозволяє уникнути потрапляння вологи до електродів. Крім того, ми використовуємо лампи з високою щільністю потужності. Чому? Тому що потрібно якомога швидше висушити поверхню пластини. Чим менше часу пластина проводить у цій зоні, тим кращий буде результат.
Як зробити обладнання водонепроникним
Коли ми говоримо про „водонепроникність“, ми маємо на увазі не просто захисний одяг. Ми маємо на увазі високотемпературні ущільнення та герметичні кришки, які запобігають потраплянню пари та крапель води всередину обладнання.
Але є одна проблема: кварц розширюється при нагріванні. Якщо кріплення занадто жорсткі, трубка може розірватися під дією тепла. Це серйозна проблема, яку ми намагаємося уникнути, точно підбираючи параметри розширення кварцу.
Економія енергії
Перехід від великих печей з примусовим опаленням до використання інфрачервоних ламп є великою перевагою для планети. Замість того, щоб витрачати енергію на нагрівання кожного кубічного сантиметра повітря, інфрачервоне випромінювання передає енергію безпосередньо на поверхню пластини. Це ефективно. Це дозволяє знизити кількість кіловат-годин, необхідних для обробки однієї пластини. Це значно полегшує виконання вимог щодо „зелених заводів“.
Увага: ці лампи випромінюють багато тепла. Якщо система охолодження та вентиляції не справляється зі своїми обов’язками, датчики, які знаходяться поруч, можуть перегріватися. Щоб уникнути цього, ми рекомендуємо використовувати систему контролю типу PID. Вона дозволяє регулювати потужність лампи так, щоб досягти потрібної температури, не перевищуючи її.