Як підтримувати чистоту поверхні напівпровідникових пластин та зберігати високий рівень продуктивності
Коли ми нагріваємо напівпровідникові пластини, температура – це лише половина проблеми. Справжній жах – це пил. У чистій кімнаті класу 100 достатньо однієї дрібної крихти забруднювача, щоб зіпсувати цілу партію силіцію. Це дратує, коштує дорого та можна повністю уникнути.
Саме тому ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти та покриття з золота. Ми запобігаємо забрудненню ще на початковому етапі.
Чому ми використовуємо золото
Стандартні інфрачервоні лампи втрачають енергію. Більша частина тепла просто розсіюється або йде на марно. Ми вирішуємо цю проблему, додаючи тонкий шар золота до кварцу. Це своєрідне дзеркало, яке відбиває лише інфрачервоне випромінювання. Таким чином усе тепло спрямовується безпосередньо на пластину, що значно підвищує її температуру саме там, де це необхідно.
Золото є також чудовим вибором через те, що воно не окислюється. Цінніші покриття починають відшаровуватися через кілька сотень циклів нагрівання. Золото ж залишається на місці. Це означає, що металевий пил не потрапляє в зону виробництва та не завдає шкоди обладнанню.
Деталі щодо матеріалів
Ми використовуємо кварц високої чистоти, тому що він не виділяє гази при нагріванні. Ці трубки можуть дуже швидко підвищувати свою температуру, що саме потрібно для точного нагрівання.
Але є один недолік: оскільки золото чудово відбиває тепло, задня частина лампи залишається прохолодною, тоді як передня частина стає дуже гарячою. Це серйозна проблема. Тож необхідно, щоб системи охолодження були ефективними, інакше можна пошкодити сусідні сенсори.
Як правильно встановлювати лампи
Ми розробили ці лампи так, щоб їх можна було легко замінити. Незалежно від того, чи використовується спеціальний з’єднувач чи стандартний, все фіксується як слід. Немає жодних проблем із закріпленням.
Ще одна порада: підтримуйте стабільну напругу. Раптові зміни напруги можуть пошкодити лампу. Якщо напруга буде стабільною, лампи будуть забезпечувати якісне тепло, що допоможе зберегти високий рівень продуктивності.