На поверхні плати для літографії навіть незначна зміна температури у півградуса може призвести до порушення критичних параметрів процесу, що може призвести до зіпсовання всієї партії виробів. Температурний режим – це те, що не підлягає домовленостям. Ми створили цей кріплення для інфрачервоних ламп, щоб температура в процесі обробки залишалась саме такою, якої потрібно – точно на потрібному рівні, вчасно, для кожного відрізка пластини.
Що є важливим: Якщо поєднати це кріплення з випромінювачами короткохвильового чи середньохвильового ІЧ-спектру, то можна отримати швидке та ефективне нагрівання. Рівномірність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C, що дозволяє забезпечити стабільність процесу. Рівень потужності залишається стабільним протягом понад 5 000 годин, а зміна інтенсивності випромінювання не перевищує 5%.
Кварцевий интерфейс та високочистотний керамічний корпус призначені для роботи в чистих кімнатах класу 1–100, що дозволяє уникнути появи частинок, які можуть заважати процесу. Електрично кріплення підтримує напругу 200–240 В, має відповідні з’єднувачі та вбудований захист від електромагнітних перешкод. Температурний режим залишається контрольованим.
Чому це ефективно в реальних пристроях для обробки пластин: У пристроях для обробки пластин тепло мусить надходити швидко та залишатися стабільним. Це кріплення дозволяє швидко досягти потрібної температури та підтримувати її без перевищень, що дозволяє забезпечити стабільність параметрів процесу від першої до останньої пластини. Це зменшує кількість непередбачених ситуацій, підвищує продуктивність та дозволяє передбачати час обслуговування.
ІНФРАЧЕРВОНЕ випромінювання ефективно передається, тож більша частина енергії перетворюється на тепло на поверхні пластини, а не витрачається марно. Можна проводити обробку тисяч пластин без перерв через зміни температури кріплення.
Ось практичні деталі: Допуски при монтажі є дуже точними. Необхідно узгодити положення випромінювача, кріплення та відбивача до 0,2 мм, інакше рівномірність температури буде порушена. При максимальній потужності температура корпусу кріплення може досягати понад 600°C, тож необхідно дотримуватися правил щодо відстані від сусідніх полімерів та кабелів.
Необхідно використовувати встановлені теплові інтерфейси та кріплення, сумісні з чистими кімнатами. Після монтажу необхідно перевірити рівномірність температури. Кріплення підходить для більшості контролерів пристроїв, але може знадобитися корекція значень для узгодження з показаннями пірометра.