Op de productielijn is het droogproces van polyimide geen gewone thermische stap. Het gaat om een belangrijk aspect wat betreft de dimensionele precisie – namelijk de relatie tussen de toleranties en de temperatuurstabiliteit. Als het droogproces niet naar behoren verloopt, ontstaan er spanningen, waardoor de dimensies niet meer precies zijn. Dit heeft gevolgen voor alle stappen in het proces, inclusief de lithografie en de daaropvolgende bewerkingen. Hierdoor gaat niet alleen één lading product verloren, maar ook de beschikbare capaciteit in de schone ruimtes wordt verspild.
Wat belangrijk is onder het mom van efficiëntie We ontwikkelen het droogproces zodat het kan worden uitgevoerd met herhaalbare thermische profielen en een hoge uniformiteit op het niveau van de chips. Het doel is om een verschillen van ±0,1°C te behouden over het hele oppervlak van de chip. Het kortegolflange infraroodverwarming zorgt ervoor dat de energie rechtstreeks in de polyimidelaag terechtkomt. Hierdoor blijven de tijd die nodig is voor het droogproces kort, terwijl de kamer en de apparatuur rondom stabiel blijven.
De hete zone is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. De materialen en oppervlakteafwerkingen zijn zo gekozen dat er zo min mogelijk deeltjes ontstaan en dat het uitgasen onder controle blijft. Het proces wordt geregeld door gekalibreerde sensoren en een gesloten regelsysteem. Hierdoor blijft elke productiecyclus hetzelfde: zowel het zachte als het harde droogproces.
Waarom dit belangrijk is in grote productiebedrijven Het droogproces van polyimide heeft duidelijke voordelen: betere controle over de temperatuur, minder afval en minder herwerkingscycli. Herhaalbare droogprocessen beschermen de fotoresist en de onderliggende lagen, waardoor de cruciale dimensies behouden blijven. Kortere droogtijden en efficiënte verwarming zorgen voor minder energieverbruik. Bovendien is het systeem ontworpen om 24/7 te werken – minder onverwachtse problemen en minder onderhoudsstoppen. Het module kan worden gebruikt als vervangbare thermische eenheid, in overeenstemming met internationale standaarden. Het module is getest om dezelfde prestaties en beschikbaarheid te leveren.
Praktische details die van belang zijn Het module heeft toegang tot schone en stabiele bronnen van energie, koeling en afvoer – alles moet overeenkomen met de vereisten van de apparatuur. Het kalibreren van de sensoren en het vastleggen van de thermische parameters maken het mogelijk om het proces op alle lijnen consistent uit te voeren. De warmtestapels en de emissiviteit van de polyimidelaag kunnen invloed hebben op het droogproces. We stellen het proces één keer in, zodat het gemakkelijk kan worden overgedragen naar andere lijnen.