Op de productielijn kan zelfs een kleine afwijking van één graad in de temperatuur tijdens het verhitten van de fotoresist ertoe leiden dat de lijndiktes niet meer kloppen. Hierdoor kan veel materiaal worden weggegooid. De verwarmers in de chemische kasten dienen niet alleen om het comfort te verbeteren; ze zijn ook belangrijk voor het proces. Ze zorgen ervoor dat de temperatuur op elke chip constant blijft.
Wat technisch gezien belangrijk is We gebruiken verwarmers die bestaan uit kortegolfgolf-infraroodelementen die zich bevinden in een kwartsomhulsel. Dit zorgt voor een snelle reactie en efficiënte warmteoverdracht. Het doel is om een temperatuurnormaalheid van ±0,1°C te bereiken over het hele oppervlak van de chip. Daarnaast moet de temperatuur consistent blijven, zelfs wanneer de chip van de ene persoon naar de andere wordt overgedragen.
De controles zorgen ervoor dat de instellingen voor het voorverhiten en het verhiten van de fotoresist constant blijven. Hierdoor blijft de activeringsenergie consistent, batch na batch. Het systeem is geschikt voor ruimtes met een zuiverheidsklasse van 1–100. Er worden gesloten onderdelen en materialen gebruikt die weinig gassen afgeven, zodat het aantal deeltjes laag blijft. Het doel is om geen deeltjes te genereren – dit is een vereiste in het ontwerp. We controleren dit door middel van in-situ monitoring.
Waarom het werkt Bij lithografie zijn nauwkeurige temperatuurregelingen belangrijk. De verwarmers zorgen ervoor dat de temperatuur van de fotoresist en de adhesiemiddelen constant blijft. Dit vermindert de variatie in lijndiktes en helpt zo de productieefficiëntie te verbeteren. De snelle reactie van de verwarmers zorgt er ook voor dat de verhittingscycli korter duren, zonder dat de temperatuur te hoog wordt. Hierdoor neemt het energieverbruik af. De betrouwbaarheid van het systeem wordt gemeten aan de hand van 24/7-bedrijfsuren. De componenten zijn zo gekozen dat ze geen problemen veroorzaken en dat er geen onverwachte stilstand optreedt.
Wat je in gedachten moet houden Bij de installatie moet rekening worden gehouden met de luchtcirculatie en trillingen in de fabriek. Sommige chemische stoffen hebben speciale eisen wat betreft de compatibiliteit met de verwarmers en de afsluitingen. We specificeren dan ook de juiste materialen en leveren een compatibiliteitsmatrix.
Het in bedrijf nemen van het systeem gaat snel: de PID-instellingen worden aangepast en de uniformiteit van de temperatuur wordt gecontroleerd. Una vez dat is gedaan, blijft het proces reproduceerbaar.