Op de lithografieafdeling kan zelfs een kleine temperatuurverandering van een halve graad ertoe leiden dat de cruciale afmetingen veranderen. Dit kan ervoor zorgen dat hele ladingen producten niet meer bruikbaar zijn. De thermische omstandigheden zijn geen aspect dat je kunt onderhandelen. Wij hebben deze infraroodlampontvanger ontworpen voor gebruik in waferbewerkingsapparaten, zodat de procestemperatuur precies op het gewenste niveau blijft – op tijd en voor elke wafer.
Wat belangrijk is: als je deze ontvanger combineert met korte- of middengolflengte-infraroodemitters, verkrijg je snel en effectief warmte. Er wordt sprake van een uniformiteit van ±0,1°C in de verhitting Zone, waardoor de resultaten consistent blijven. De uitgangsstroom blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een intensiteitsverschil van minder dan 5%.
Het kwartsinterface en het hoogzuivere keramische materiaal zijn ontworpen voor schone ruimtes van klasse 1–100. Hierdoor blijven er geen deeltjes in de proceskamer terechtkomen. Elektrisch gezien kan de ontvanger werken met een spanning van 200–240 VAC. Er zijn ook connectoren beschikbaar die geschikt zijn voor de apparaten, en er is ook bescherming tegen elektromagnetische interferentie. De thermische processen blijven daardoor onder controle.
Waarom dit werkt in echte waferbewerkingsapparaten: In deze apparaten moet de warmte snel worden toegepast en vervolgens stabiel blijven. De ontvanger past zich snel aan op het gewenste temperatuurniveau en houdt deze stand, zodat de resultaten consistent blijven van de eerste tot de laatste wafer. Hierdoor zijn er minder problemen, is de opbrengst hoger en zijn de maintenance-intervallen voorspelbaarder.
Infraroodstraling wordt efficiënt overgedragen, waardoor meer energie wordt omgezet in warmte op de wafer, in plaats van dat deze energie verloren gaat. Je kunt dus duizenden waferbewerkingen uitvoeren zonder onverwachte stoppen door thermische problemen met de lampontvanger.
Hier zijn de praktische details: De toleranties voor montage zijn zeer streng. De emissor, de ontvanger en de reflector moeten binnen 0,2 mm van elkaar worden geplaatst; anders wordt de uniformiteit verstoord. Op piekpunt kan de temperatuur van de ontvanger boven de 600°C liggen. Houd daarom voldoende afstand van nabijgelegen polymeren en kabels.
Gebruik de voorgeschreven thermische interface en bevestigingsmaterialen die geschikt zijn voor schone ruimtes. Na installatie moet je een uniformiteitsmeting uitvoeren. De ontvanger werkt met de meeste apparaten, maar soms is een kalibratie nodig om de metingen te kunnen vergelijken met de gegevens van de pyrometer.