Op de productielijn is het proces van het drogen van het materiaal geen simpele stap. Het gaat om een cruciaal proces dat invloed heeft op de kwaliteit van het eindproduct. Een verschil van 1°C tijdens het verwerken van het fotoresist is al voldoende om de dikte van de lagen te veranderen, wat tot defecten kan leiden en zelfs tot het wegwerpen van hele batches producten. We hebben de Digital Infrared Dryer Controller ontwikkeld om deze thermische risico’s te elimineren.
Wat technisch gezien belangrijk is:
De controller maakt gebruik van een NIR-sensor met een snelle respons, zodat de gewenste temperatuur kan worden gehouden met een precisie van ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer. Hierdoor kunnen consistente resultaten worden behaald bij het drogen van het fotoresist. Bovendien zorgt de controller voor een stabiele verdamping van de oplossing, zonder dat er oneffenheden ontstaan.
De controller past goed in de omstandigheden in een schone ruimte: hij is compatibel met klassen 1–100, er worden geen deeltjes geproduceerd en de uitstoot van gassen blijft minimaal. Het systeem kan 24/7 draaien, zonder onverwachte stilstanden. De levensduur van het systeem is meer dan 50.000 uur.
Waarom het werkt in de lithografie:
Bij lithografie en het verwerken van fotoresist hangt de kwaliteit af van de temperatuurregulatie. De controller zorgt ervoor dat de temperatuur op de juiste plek – op de wafer – stabiel blijft. Hierdoor kan de controle over de afmetingen van het product nauwkeuriger worden uitgevoerd.
De herhalbaarheid van het proces verkort de tijd die nodig is voor validatie en verminderd het aantal fouten. Bovendien reduceert de energieefficiëntie de kosten per batch. Het resultaat zijn consistente resultaten, minder verspilde producten en een stabiele productiecapaciteit.
De details die dit mogelijk maken:
De installatie is eenvoudig, maar de thermische verbindingen zijn cruciaal. De emitter moet zo worden geplaatst dat deze past bij de geometrie van de chuck en de emissiviteit van het materiaal. Anders zal het systeem te maken krijgen met reflecties en thermische vertragingen.
Zorg ervoor dat de kabelverbindingen en de gronding goed zijn afgestemd op de apparatuur. Stel de instellingen van de controller af op basis van de vereisten van het proces. Als deze details goed worden opgevolgd, zal de controller dag in, dag uit goed functioneren.