Op de lithografieafdeling is de afstand tussen de lamp en de chip geen onbelangrijk detail – het is een instelling die goed moet worden geregeld. Als de afstand te klein is, kan dit leiden tot thermische problemen, uitstoot van chemische stoffen en meer vuil op de chip. Als de afstand te groot is, wordt er minder energie gebruikt, waardoor de productietijd toeneemt. We ontwerpen onze verwarmingselementen met deze afstand in gedachten, waarbij deze afstand wordt gezien als een belangrijk element voor het beheer van het proces.
We gebruiken kortegolflengte-infraroodlicht, verkregen met behulp van een kwarts-halogeenbron en een emitter die is versterkt met koolstofvezels. Dit zorgt voor een snelle thermische respons, met een lage thermische massa. In de actieve zone blijft de uniformiteit van de chip op ±0,1°C. De herhalbaarheid wordt gewaarborgd door gebruik te maken van pyrometrie op de referentiepunt op de hete plaat. Het apparaat past in een schone ruimte van klasse 1–100. De materialen en afsluitingen zijn zo gekozen dat er geen vuil ontstaat tijdens het verhittingsproces. Zowel het zachte als het harde verhittingsproces voldoen aan de vereisten, omdat de temperatuur stabiel blijft, zelfs wanneer de deuren worden geopend of wanneer er chips worden vervangen.
Het voordeel hiervan is dat de eigenschappen van de chip voorspelbaar blijven, dat er minder vuil ontstaat en dat er minder producten moeten worden herwerkt. De energieverbruik neemt af, omdat de bron alleen wordt gebruikt wanneer dit nodig is en snel afkoelt – er is geen onnodig energieverbruik. De betrouwbaarheid blijkt uit de gegevens over de werktijd: we hebben apparaten die meer dan 5.000 uur lang functioneren, met minder dan 5% afwijkingen in de output, en geen onverwachte stilstand veroorzaakt door problemen met de verwarmingselementen. Uw planning is gebaseerd op chemische processen en blootstelling, niet op de tijd die nodig is om de oven opnieuw op temperatuur te brengen.
Het apparaat is compact, maar er moet toch ruimte zijn voor luchtcirculatie en onderhoud. Plan ongeveer 200 mm ruimte in aan de ingangszyde. De integratie is eenvoudig, dankzij standaardverbindingen en 24 V-aansluitingen. Echter, het controleprofiel moet worden aangepast aan uw resistentlaag en substraatafwerking. De configuratie duurt kort: u hoeft alleen de PID-waarden en de compensatie voor de emissiviteit aan te passen, zodat ze overeenkomen met uw apparaat en procesparameters.