Op de 300mm-lijn is het al voldoende om een lichte verhoging van de temperatuur te hebben – zelfs maar een fractie van een graad – om de controle over de cruciale dimensies uit balans te brengen. De verwarmingsunit moet dus schoon blijven en de gewenste temperatuur consequent behouden, batch na batch.
Wat er echt toe doet We gebruiken kwarts van hoge zuiverheid voor de verwarmingsunit, zodat er zo min mogelijk gassen en metalendeeltjes vrijkomen. Het kwartslichaam is zo vormgegeven dat er snel en stabiel wordt gereageerd op temperatuurveranderingen, waardoor de procescondities goed worden gehandhaafd.
In de praktijk betekent dit dat de temperatuur op het oppervlak van de wafer binnen ±0,1°C blijft. De verwarmingsunit is compatibel met zuiverruimtes van klasse 1 tot en met klasse 100. Zodra de unit in een stabiele staat komt, worden er geen deeltjes meer gegenereerd. Herhaalbaarheid is geen probleem: deze wordt gegarandeerd door nauwkeurige kalibratie van elke unit.
Waarom dit belangrijk is in lithografie en fotoresistentprocesen Bij lithografie en fotoresistentprocesen zorgt de verwarming ervoor dat oplosmiddelen verdwijnen en dat het polymermateriaal stabiel wordt. Met onze kwartsverwarmingsunit blijft de temperatuur op het oppervlak van de wafer constant. Hierdoor kunnen dezelfde verwarmingsprocedures steeds opnieuw worden uitgevoerd.
Deze stabiliteit zorgt er ook voor dat er minder fouten optreden en dat de productie efficiënter verloopt. Bovendien kan de lijn 24/7 draaien, zonder onverwachte stilstand, omdat de verwarmingsunit de gewenste temperatuur behoudt zonder dat er deeltjes worden gegenereerd die alarmen in de zuiverruimte kunnen veroorzaken. De efficiëntie neemt ook toe, dankzij de schone warmteafgifte en minimale energieverlies.
Wat je moet weten bij de installatie Voor de installatie is het belangrijk om de mechanische alignering nauwkeurig te controleren en te controleren of de elektrische compatibiliteit met de hostplatform goed is. De verwarmingsunit is gevoelig voor mechanische spanningen; daarom moet de montage zodanig worden uitgevoerd dat er geen microkrachten ontstaan.
Plan een geleidelijke temperatuurstijging tijdens de eerste verwarmering, zodat het kwarts zich kan stabiliseren en er geen tijdelijke pieken in het aantal deeltjes optreden. Als alles goed wordt ingesteld, kan de verwarmingsunit duizenden uren lang blijven werken, terwijl de thermische herhaalbaarheid en de naleving van de richtlijnen voor zuiverruimtes behouden blijven.