진공 챔버용 적외선 히터

왜 진공 적외선 히터에는 금이 필수적인가? 진공 상태에서 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 일반적인 원칙들이 적용되지 않습니다. 열을 전달해 줄 공기가 없으므로 대류 현상도 일어나지 않습니다. 따라서 오직 복사에만 의존해야 합니다. 문제는, 일반적인 알루미늄이나 스테인리스...