真空チャンバー用赤外線ヒーター

なぜ、真空状態でシリコンウェーハを加熱する際には金が必須なのか 真空状態でシリコンウェーハを加熱する場合、通常のルールは適用されません。空気がないため、対流による熱の移動はあり得ず、完全に放射に頼るしかありません。 問題は、もし通常の研磨済みのアルミニウムやステンレス鋼製の反射器を使った場合、それ...