Di area litografi, perubahan suhu sekecil setengah derajat pun dapat mengacaukan dimensi-dimensi penting yang diperlukan dalam proses produksi, sehingga bisa merusak seluruh batch produk yang dihasilkan. Batas toleransi suhu bukanlah sesuatu yang bisa dinegosiasikan. Kami merancang soket lampu inframerah ini agar suhu proses tetap stabil pada tingkat yang ditentukan—tepat waktu, dan untuk setiap wafer.
Yang penting adalah penggunaan soket ini bersama dengan pemancar sinar inframerah berfrekuensi pendek atau menengah. Dengan demikian, panas yang dihasilkan akan lebih efektif. Tingkat keseragaman suhu di area pemanasan mencapai ±0,1°C, sehingga proses pemanasan dapat dilakukan secara konsisten. Intensitas cahaya tetap stabil selama lebih dari 5.000 jam, dengan penyimpangan suhu kurang dari 5%.
Interfase kuarsa dan badan keramik berkualitas tinggi yang digunakan dirancang untuk ruang bersih kelas 1–100. Dengan demikian, jumlah partikel debu tetap rendah, sehingga tidak mengganggu proses produksi. Secara listrik, soket ini dapat beroperasi pada tegangan 200–240 VAC, dengan konektor yang sesuai untuk alat-alat terkait, serta perlindungan EMI yang efektif. Sistem termalnya juga mudah dikendalikan.
Mengapa hal ini efektif dalam alat-alat produksi wafer: Dalam alat-alat produksi wafer, panas perlu disalurkan dengan cepat, lalu dipertahankan agar tetap stabil. Soket ini mampu menyesuaikan suhu dengan cepat dan mempertahankannya tanpa adanya penyimpangan, sehingga profil fotorezistan tetap sesuai standar, mulai dari wafer pertama hingga yang terakhir. Dengan demikian, terjadi lebih sedikit gangguan dalam proses produksi, efisiensi produksi meningkat, dan interval perawatan menjadi lebih dapat diprediksi.
Sinar inframerah ini memiliki efisiensi yang tinggi, sehingga lebih banyak energi yang diubah menjadi panas di wafer, bukan energi yang terbuang sia-sia. Anda dapat menjalankan proses produksi ribuan wafer tanpa adanya gangguan akibat fluktuasi suhu pada soket lampu.
Berikut adalah detail teknisnya: Toleransi pemasangan sangat ketat. Pastikan posisi pemancar, soket, dan reflektor berada dalam jarak 0,2 mm agar keseragaman suhu tetap terjaga. Pada kekuatan maksimum, suhu badan soket dapat mencapai lebih dari 600°C, jadi pastikan ada jarak yang cukup antara soket ini dengan bahan polimer atau kabel di sekitarnya.
Gunakan interfasis termal yang sesuai serta bahan pengikat yang cocok untuk ruang bersih. Lakukan pemeriksaan keseragaman suhu setelah pemasangan. Soket ini dapat digunakan bersama dengan sebagian besar kontroler alat, tetapi mungkin diperlukan penyesuaian agar hasil pengukuran pyrometer menjadi akurat.