מרחק בטיחות לחימום הוופר

בחדר הליתוגרפיה, המרחק בין המנורה לוואף אינו עניין של מה בכך – זו פרמטר חשוב שיש להגדיר נכון. אם המרחק קטן מדי, עלולה להתרחש בעיה של עלייה חמה מואצת...