Comment réussir le séchage des wafers : c’est tout une question de réflecteur
La plupart d’entre nous utilisent la technologie de séchage par rayonnement infrarouge pour le séchage des semi-conducteurs, car elle est écologique. Pas de solvants chimiques, pas de combustion : simplement de l’électricité transformée en chaleur. Cela permet de rester dans le cadre des exigences relatives à l’absence de plomb, sans aucun problème.
Mais voilà le problème : c’est la lampe qui reçoit tout le crédit, alors que c’est le réflecteur qui effectue vraiment le travail.
Arrêtez de gaspiller votre énergie
Si vous utilisez une lampe de séchage sans réflecteur précis, vous gaspillez pratiquement la moitié de votre énergie. Imaginez : beaucoup de photons se retrouvent simplement renvoyés en arrière, sans servir à rien. Nous concevons nos réflecteurs pour capturer cette énergie perdue et la diriger à nouveau vers le wafer. Cela augmente le flux thermique, sans avoir besoin d’augmenter la puissance de la lampe. De plus, cela permet un accélération du processus de séchage. C’est très important, car plus le wafer reste dans cet état de chauffage prolongé, plus il y a de risque qu’il se déforme ou subisse des contraintes. Personne ne veut ça.
Les détails importants concernant les matériaux
Nous utilisons généralement des substrats en aluminium de haute pureté ou recouverts d’or. Pourquoi ? Parce qu’ils sont parfaits pour refléter les rayons infrarouges à courte et moyenne longueur d’onde. La forme du réflecteur est aussi importante que le métal lui-même. Nous utilisons des courbes paraboliques ou elliptiques pour garantir que la chaleur atteigne uniformément le wafer. Si la courbe n’est pas parfaite, même de quelques millimètres, cela entraîne des points chauds. Et des points chauds signifient un séchage inégal, ce qui entraîne généralement des wafers défectueux et une journée difficile au bureau.
Choisir la configuration adaptée à vos besoins
Le meilleur avantage d’une configuration à haute réflexivité est que vous pouvez réduire la puissance de la lampe, tout en maintenant un débit de production optimal. Votre facture d’énergie vous en sera reconnaissante.
Maintenant, vous devez faire un choix. Les réflecteurs recouverts d’or représentent la meilleure solution en termes de performance. Mais ils sont fragiles. Si votre environnement de travail est un peu agressif, ou si votre équipe de maintenance maltraite les équipements, les réflecteurs peuvent être endommagés. Dans ce cas, optez pour de l’aluminium anodisé. Il est moins efficace, mais beaucoup plus résistant. Il peut supporter des contraintes importantes et continuer à fonctionner.
Un dernier conseil : assurez-vous que vos ventilateurs de refroidissement puissent gérer la chaleur produite. Vous ne voulez certainement pas endommager les prises électriques de la lampe tout en essayant d’économiser de l’énergie.