کاهش انتشار کربن در فرآیند تولید نیمههادیها (بدون آسیب رساندن به تجهیزات)
در فرآیندهای شستشوی ویفرها در تولید نیمههادیها، باید تعادل دقیقی برقرار کرد. باید رطوبت موجود روی ویفر را به سرعت از بین ببریم، اما نمیتوانیم اجازه دهیم حتی کمترین مقدار آلودگی وجود داشته باشد.
برای مدت طولانی، افراد از روش گرمایش هوای گرم برای این منظور استفاده میکردند؛ اما ما روش بهتری پیدا کردهایم: استفاده از لامپهای مادون قرمز ضدآب.
مشکلات مربوط به محیطهای مرطوب
خطوط شستشو، برای تجهیزات بسیار مضر هستند؛ به دلیل رطوبت مداوم و بخارات شیمیایی، لامپهای معمولی نمیتوانند کار خود را انجام دهند.
برای جلوگیری از خرابی زودهنگام تجهیزات، از غلافهای کوارتزی و سیستمهای درزبندی مناسب استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود رطوبت از الکترودها دور بماند. علاوه بر این، از توان بالای لامپها نیز استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون میخواهیم سطح ویفر را به سرعت خشک کنیم. هرچه زمانی که ویفر در این منطقه باقی میماند کمتر باشد، بازدهی تولید بهتر خواهد بود.
مسائل مربوط به ویژگیهای ضدآب
وقتی صحبت از ویژگیهای ضدآب میکنیم، منظورمان لباسهای ضدآب نیست؛ بلکه منظورمان استفاده از لولههای ضدحرارت و درزبندیهای مناسب است تا بخارات و آب از داخل دستگاه خارج نشوند.
اما مشکلی وجود دارد؛ کوارتز در هنگام گرم شدن انبساط مییابد. اگر براکتهای نصب لولهها خیلی سفت باشند، لوله ممکن است در حین گرم شدن شکسته شود. این امر میتواند باعث اختلالات زیادی شود؛ بنابراین سعی میکنیم نرخ انبساط لولهها را به درستی تنظیم کنیم.
صرفهجویی در انرژی
تغییر از اتوکلاوهای بزرگ مبتنی بر هوای گرم به روش گرمایش مادون قرمز، مزیت بزرگی برای سیاره محسوب میشود.
در حالی که در روش قبلی، انرژی برای گرم کردن هر سانتیمتر مکعب از هوا صرف میشد، در روش جدید، انرژی مستقیماً به سمت سطح ویفر ارسال میشود. این روش کارآمدتر است؛ همچنین میزان انرژی مصرفی برای هر ویفر کاهش مییابد، که این امر باعث میشود دستیابی به استانداردهای «کارخانههای سبز» آسانتر شود.
نکته مهم: این لامپها گرمای زیادی تولید میکنند؛ اگر سیستم خنککنندگی و تهویه دستگاه مناسب نباشد، سنسورهای موجود در دستگاه ممکن است دچار گرمای بیش از حد شوند.
برای حفظ ثبات دستگاه، پیشنهاد میکنیم از سیستم کنترل PID استفاده کنید؛ این سیستم توان لامپ را تنظیم میکند تا دمای مورد نظر به دست آید، بدون اینکه دما بیش از حد بالا رود و مشکلاتی ایجاد شود.