چرا از روش خشککردن با امواج مادون قرمز در اتاقهای تمیز استفاده میکنیم؟
وقتی که در کارخانههای تولید تراشه کار میکنیم، «تمیزی» فقط یک هدف نیست؛ بلکه همه چیز است. حتی کوچکترین ذره گرد و غبار میتواند کل محصولات تولید شده را خراب کند.
برای مدت طولانی، از فرهای حرارتی برای گرم کردن اتاقها استفاده میشد. اما مشکل اینجاست که این فرها فقط هوای گرم را در اطراف پخش میکنند. در نتیجه، برای گرم کردن اتاق، مقدار زیادی انرژی صرف میشود، در حالی که ویفر هنوز گرم نشده است. علاوه بر این، حرکت هوا میتواند باعث ایجاد گرد و غبار شود.
به همین دلیل از روش خشککردن با امواج مادون قرمز استفاده میکنیم. در واقع، ما هوا را از معادله کنار میگذاریم.
گرم کردن خود ویفر، نه کل اتاق
تصور کنید در روز سردی در زیر نور خورشید ایستادهاید؛ حتی اگر هوای اطراف شما بسیار سرد باشد، باز هم گرمای خورشید را احساس میکنید. این همان نحوه عملکرد امواج مادون قرمز است؛ انرژی مستقیماً به درون ویفر منتقل میشود.
از آنجایی که این روش بسیار دقیق است، ما میتوانیم از کاتالیزورهای مبتنی بر حلال و مواد شیمیایی حاوی سرب استفاده نکنیم. کافی است طول موج امواج مادون قرمز را طوری تنظیم کنیم که با فوتورزیست یا چسب مورد استفاده مطابقت داشته باشد؛ سپس در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر میرسیم. این روش بسیار سریع است.
کاهش هزینهها و ریسکها
اکثر فرهای حرارتی به طور مداوم کار میکنند تا همه چیز در حالت پایدار باقی بماند؛ این کار باعث هدررفت زیاد انرژی میشود.
اما لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها فقط در لحظه ورود ویفر به محل مربوطه فعال میشوند. در نتیجه، میزان انرژی مصرفی به طور قابل توجهی کاهش مییابد. همچنین، از آنجایی که هیچ احتراقی رخ نمیدهد و هوا در اطراف پخش نمیشود، اتاق تمیز نیز همچنان تمیز باقی میماند.
مشکلات موجود
البته، این روش کاملاً ساده نیست. امواج مادون قرمز با شدت بالا، گرمای زیادی ایجاد میکنند؛ اگر ویفر نازک باشد یا نتواند گرمای زیاد را تحمل کند، دچار تغییر شکل خواهد شد. این یک مشکل بزرگ است. برای جلوگیری از این اتفاق، نیاز به کنترلکنندههای PID و دستگاههای اندازهگیری دما وجود دارد.
من معمولاً توصیه میکنم که لامپها را به صورت پالسی فعال کنیم؛ یعنی به جای فعال بودن دائمی، آنها فقط در لحظات مورد نیاز فعال میشوند. این کار باعث کنترل بهتر گرمای ایجاد شده و همچنین صرفهجویی در مصرف انرژی میشود.
در نهایت، استفاده از روش مادون قرمز فقط برای کاهش مصرف انرژی نیست؛ بلکه راهی برای کاهش زمان تولید و حذف مواد شیمیایی مضر نیز هست. به شرطی که کابلکشی مناسبی داشته باشیم و مراقب سیستم خنککننده باشیم، این روش بهترین روش برای انجام کار است.