حفظ تمیزی سطح نیمههادیها و افزایش بازدهی تولید
هنگام گرم کردن ویفرهای نیمههادی، دما تنها نیمی از مسئله است. مشکل واقعی، گرد و غبار است. در اتاقهای پاکیزه کلاس ۱۰۰، حتی یک تکه کوچک از مواد آلوده کافیست تا کل محموله سیلیکون را از بین ببرد. این موضوع ناامیدکننده، پرهزینه و کاملاً قابل جلوگیری است.
به همین دلیل، ما از کوارتز با خلوص بالا و روکشهای طلا استفاده میکنیم. به این ترتیب، آلودگیها را قبل از شروع ایجاد میشوند، متوقف میکنیم.
چرا از طلا استفاده میکنیم؟
لامپهای مادون قرمز استاندارد، انرژی را از دست میدهند؛ بخش زیادی از این گرما در اطراف لامپ پراکنده میشود یا هدر میرود. ما این مشکل را با اضافه کردن لایه نازکی از طلا روی کوارتز برطرف میکنیم. میتوانید آن را مانند یک آینه در نظر بگیرید؛ طلا فقط انرژی مادون قرمز را منعکس میکند. این کار باعث میشود گرما به طور مستقیم به سمت ویفرها هدایت شود و تراکم گرما در همان نقاطی که نیاز داریم، بسیار بالاتر شود.
طلا به دلیل دلایل دیگری نیز گزینه خوبی است: آن اکسید نمیشود. روکشهای ارزانتر، پس از چند صد دور گرمایش، شروع به ترک خوردن میکنند؛ اما طلا در جای خود باقی میماند. این بدان معناست که گرد و غبار فلزی وارد منطقه تولید نخواهد شد و کار شما را خراب نخواهد کرد.
جزئیات مربوط به مواد
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا در دماهای بالا، گازهایی از آن خارج نمیشود. این لامپها میتوانند دمای خود را به سرعت افزایش دهند؛ که دقیقاً همان چیزی است که برای فرآیندهای تولید دقیق نیاز است.
اما یک مشکل وجود دارد: از آنجایی که طلا در منعکس کردن گرما بسیار خوب عمل میکند، قسمت پشتی لامپ خنک باقی میماند، در حالی که قسمت جلویی بسیار گرم میشود. بنابراین، باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده و سیستمهای محافظتی لامپ، کارایی لازم را دارند؛ در غیر این صورت، ممکن است سنسورهای اطراف لامپ آسیب ببینند.
نحوه استفاده از لامپها
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که تعویض آنها آسان باشد. چه از فلانژهای سفارشی استفاده کنید و چه از اتصالات استاندارد، لامپها به خوبی در جای خود قرار میگیرند. هیچ صدایی ایجاد نمیشود و لامپها تکان نمیخورند.
یک نکته مهم: ولتاژ را ثابت نگه دارید. نوسانات ولتاژ میتواند باعث آسیب به لامپها شود. اگر ولتاژ را ثابت نگه دارید، این لامپها منبع گرمایی بسیار قابل اعتمادی خواهند بود و باعث میشوند بازدهی تولید شما در سطح مطلوبی باقی بماند.