
في أجهزة الطباعة بالليثوغرافيا، فإن أي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار نصف درجة كافٍ لإفساد الأبعاد الدقيقة المطلوبة، وقد يؤدي ذلك إلى هدر كامل الكمية المنتجة. لا يمكن التفاوض بشأن مستوى الحرارة المطلوبة. لقد صُممت هذه القابسات الخاصة بالأشعة تحت الحمراء لضمان بقاء درجة الحرارة ثابتة تمامًا، في المستوى المطلوب، في الوقت المناسب، وعلى كل قرص من أقراص السيليكون.
المهم في النهاية هو الحفاظ على درجة حرارة ثابتة. عند استخدام هذه القابسات مع مصادر إشعاع تحت الحمراء قصيرة أو متوسطة الموجة، يمكن الحصول على حرارة سريعة ومنتظمة. نحن نتحدث عن درجة توحيد الحرارة على مستوى القرص بمقدار ±0.1 درجة مئوية، وهو ما يضمن استقرار الحرارة أثناء عملية الخبز. تظل القوة الناتجة ثابتة لأكثر من 5,000 ساعة، مع اختلاف في الشدة لا يتجاوز 5%.
تم تصميم الواجهة الكوارتزية والجسم الخزفي عالي النقاء للاستخدام في غرف نظيفة من الفئة 1–100، حتى لا ترتفع نسبة الجسيمات في الهواء، وبالتالي لا تؤثر على عملية الإنتاج. من الناحية الكهربائية، يدعم الجهاز إمدادًا بجهد 200–240 فولت، مع موصلات متوافقة مع الأدوات المستخدمة، بالإضافة إلى حماية من التشويش الكهرومغناطيسي. يظل النظام الحراري مستقرًا وقابلاً للتحكم فيه.
لماذا يعمل هذا الجهاز في أجهزة الطباعة بالليثوغرافيا؟ في أجهزة الطباعة، يجب أن تصل الحرارة بسرعة، ثم تظل ثابتة. يسمح هذا الجهاز بضبط درجة الحرارة بسرعة، ويحافظ على استقرارها، بحيث تظل خصائص الطبقة الحساسة للضوء ثابتة من القرص الأول إلى الأخير. هذا يؤدي إلى تقليل الأخطاء، وزيادة معدلات الإنتاج، بالإضافة إلى فترات صيانة متوقعة.
تعمل مصادر الإشعاع تحت الحمراء بكفاءة، مما يجعل معظم الطاقة تتحول إلى حرارة على القرص، بدلاً من أن تضيع في الإطار. يمكن استخدام هذا الجهاز في عمليات إنتاج تتضمن آلاف الأقراص، دون حدوث توقفات غير مخطط لها بسبب تغير درجة الحرارة.
إليك التفاصيل العملية:
يجب أن يكون هناك توافق دقيق بين المصدر والقابس والمرآة، بحيث لا يتجاوز الفارق بينهم 0.2 مم، وإلا ستتأثر درجة التوحيد. عند أقصى قوة، يمكن أن تصل درجة حرارة الجهاز إلى أكثر من 600 درجة مئوية، لذا يجب الحرص على عدم الاقتراب من المواد البوليمرية والكابلات الموجودة في الجوار.
يجب استخدام واجهات حرارية مناسبة، بالإضافة إلى مواد تثبيت متوافقة مع الغرف النظيفة. يجب أيضًا إجراء فحص لدرجة التوحيد بعد التركيب. يمكن لهذا الجهاز العمل مع معظم أجهزة التحكم، لكن قد يكون من الضروري إجراء تعديلات لمطابقة قراءات جهاز قياس درجة الحرارة.