في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، فإن المسافة بين المصباح والرقاقة ليست مجرد تفصيل تافه، بل هي معامل يجب ضبطه بدقة. إذا كانت المسافة صغيرة جدًا، فسيؤدي ذلك إلى مشاكل مثل الاحترار الزائد، وتصاعد الغازات من مادة الفوتوريزست، بالإضافة إلى زيادة عدد الجسيمات. أما إذا كانت المسافة كبيرة جدًا، فسيؤدي ذلك إلى استخدام طاقة أقل، وزيادة وقت المعالجة، مما يؤثر سلبًا على كفاءة العملية. نقوم بتصميم وحدات التسخين بحيث تتناسب مع هذه المسافة، ونعتبرها عاملاً أساسيًا في التحكم في العملية.
نستخدم أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، مع مصدر من الكوارتز والهالوجين، بالإضافة إلى جهاز إصدار الأشعة المصنوع من الألياف الكربونية. هذا يوفر استجابة حرارية سريعة مع كتلة حرارية منخفضة. في المنطقة النشطة، تظل درجة الحرارة مستقرة عند ±0.1 درجة مئوية، ويتم ضمان الدقة من خلال استخدام أجهزة قياس الحرارة في نقاط محددة. تتناسب هذه الوحدة مع غرف نظيفة من الفئة 1-100، وتم اختيار المواد والأغلفة المستخدمة للحفاظ على عدم وجود جسيمات أثناء عملية التسخين. تظل درجة الحرارة مستقرة، حتى أثناء تغيير الرقاقات أو فتح الأبواب، مما يضمن دقة العملية.
الفوائد التي يمكن الحصول عليها من استخدام هذه الوحدة هي: استقرار الأبعاد الحرجة للرقاقة، وانخفاض معدل الأخطاء، بالإضافة إلى تقليل عدد الرقاقات التي يجب إعادة معالجتها. كما يقل استهلاك الطاقة، لأن المصدر يسخن حسب الحاجة ويبرد بسرعة، دون حدوث أي تسرب حراري. تظهر موثوقية الوحدة من خلال سجلات العملية: فقد استمرت الوحدات في العمل لأكثر من 5,000 ساعة، مع انخفاض في معدل الخطأ بنسبة أقل من 5%، ولا توجد أي أعطال غير متوقعة ناتجة عن مشاكل في وحدة التسخين. يمكن التحكم في العملية من خلال التعديلات البسيطة على إعدادات PID وتعويض الانبعاثات، بحيث تتناسب مع خصائص المادة المستخدمة وخطوات العملية.
الوحدة صغيرة الحجم، لكن لا يزال هناك حاجة إلى مساحة كافية لتدفق الهواء وأعمال الصيانة. يجب تخصيص مساحة 200 مم على جانب الإدخال. يمكن دمج الوحدة بسهولة باستخدام الوصلات القياسية وأجهزة التحكم التي تعمل بجهد 24 فولت، لكن يجب أن تتناسب إعدادات التحكم مع خصائص المادة المستخدمة وخطوات العملية. عملية التشغيل سريعة، حيث يتم تعديل إعدادات PID وتعويض الانبعاثات بسهولة.