ในโรงงานผลิตชิปนั้น คุณภาพของชิปขึ้นอยู่กับอุณหภูมิที่แม่นยำมาก หากอุณหภูมิในการอบไม่สม่ำเสมอ ก็จะทำให้ความหนาของชั้นฟิล์มไม่สม่ำเสมอเช่นกัน ส่วนกรณีที่มีจุดที่มีอุณหภูมิต่ำในระหว่างกระบวนการออกซิเดชัน ก็จะทำให้ชั้นออกไซด์ที่เกิดขึ้นไม่มีความเสถียร เราจึงออกแบบองค์ประกอบที่ใช้ในการให้ความร้อนเพื่อรับมือกับปัญหาเหล่านี้ เพราะอุณหภูมิจำเป็นต้องถูกควบคุมอย่างเข้มงวดในจุดที่สำคัญที่สุด
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้คลื่นอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น พร้อมกับตัวเรือนที่มีความสามารถในการตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว โดยมีขนาดที่เหมาะสมกับเส้นผ่านศูนย์กลางของแผ่นวีเซอร์ ทำให้อุณหภูมิบนแผ่นวีเซอร์มีความสม่ำเสมออยู่ที่ ±0.1°C นอกจากนี้ การควบคุมอุณหภูมิยังช่วยให้โครงสร้างของฟิล์มมีความสม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์ ความสามารถในการทำงานในห้องสะอาดก็เป็นสิ่งสำคัญเช่นกัน เราใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อยมาก และมีโครงสร้างที่ลดปริมาณอนุภาคให้น้อยที่สุด เพื่อให้สามารถทำงานได้ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 ได้ ประสิทธิภาพการทำงานจะคงที่เป็นเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความคลาดเคลื่อนของอุณหภูมิน้อยกว่า 5%
เหตุผลที่มันสามารถทำงานได้ดีในกระบวนการผลิต ในกระบวนการลิโธกราฟี การอบด้วยความร้อนที่อ่อนๆ ช่วยให้สามารถกำจัดสารละลายและลดความเครียดของฟิล์มได้ ด้วยองค์ประกอบอินฟราเรดนี้ ทำให้สามารถให้พลังงานได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ ทำให้ฟิล์มแห้งได้อย่างสม่ำเสมอ ส่วนในกระบวนการออกซิเดชัน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมินี้จะช่วยให้ความหนาของชั้นออกไซด์มีความสม่ำเสมอ และลดการต้องทำงานซ้ำลง นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนจะถูกส่งไปยังจุดที่จำเป็นเท่านั้น ไม่ได้ถูกใช้ไปกับการให้ความร้อนกับส่วนที่ไม่จำเป็น ความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์นี้ก็แสดงออกมาในรูปแบบของจำนวนข้อผิดพลาดที่น้อยลง และเวลาที่ต้องหยุดทำงานโดยไม่ได้วางแผนก็น้อยลงด้วย
รายละเอียดที่ควรให้ความสำคัญ ความคลาดเคลื่อนในการติดตั้งอุปกรณ์ และความแตกต่างในค่าการแผ่ความร้อนของแผ่นวีเซอร์ที่มีการเคลือบ อาจส่งผลให้มีการกระจายของความร้อนที่ไม่สม่ำเสมอ ดังนั้นควรมีการตรวจสอบอุณหภูมิบนแผ่นวีเซอร์ก่อนการใช้งานจริง อย่าพึ่งพาข้อมูลจากตัวอย่างเพียงอย่างเดียว อุปกรณ์นี้ต้องการพลังงานที่สะอาดและแห้ง และต้องมีการยึดติดที่มั่นคง หากมีการติดตั้งผิดตำแหน่ง ก็จะเกิดความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิทันที ควรมีการทดสอบการใช้งานเป็นเวลาสั้นๆ เพื่อปรับอัตราการให้ความร้อนและเวลาในการอบให้เหมาะสมกับชนิดของฟิล์มที่ใช้