ウェーハ処理で赤外線を使用する理由

生産ラインにおいて、熱によるドリフトは単にグラフ上に現れるだけではありません。実際には、歩留まりを低下させてしまいます。フォトレジストのソフトベイクの際に2℃程度の温度変動があれば、リソグラフィーの精度が台無しになってしまいます。ウエハー乾燥時に低温部分ができると、接着剤のように付着するスジや粒子...