赤外線を使って無鉛硬化を正しく行う方法 ウェーハを扱う際に、厳格な環境保護や無鉛化の要件を満たす必要がある場合、従来の対流式オーブンでは不十分だということがお分かりいただけるでしょう。対流式オーブンは処理速度が遅く、多くのエネルギーを消費します。 そのため、私たちの多くは赤外線を利用した硬化法に移...

無駄なエネルギーの浪費を止めよう：半導体製造装置におけるIR光の効率的な利用法 一般的な赤外線ランプは、どこにでも熱を放出してしまいます。つまり、360度全方位に熱が散らばってしまうのです。 ウェーハ処理室で作業を行う際、これは大きな問題です。ウェーハを加熱しようとしても、そのエネルギーの多くが目...

なぜ水素センサーの製造に赤外線を利用するようにしたのか 水素センサーを作る際には、温度管理が非常に重要です。わずかな温度のずれがあっても、膜が壊れたり、触媒が付着しなくなったりする可能性があります。長い間、私たちは従来の抵抗式オーブンを使ってきました。しかし正直なところ、それは非効率的です。わずか...

MEMSウェーハを効率的に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際は、まるで「センサーを壊さないようにしなければならない」という高リスクなゲームをしているようなものです。水分を取り除く必要がありますが、同時に何の汚れも残してはいけません。また、ウェーハに過度な機械的ストレスをかけて...

ヒーターが生産効率を台無しにするのを防ぎましょう。 もしあなたがクラス100のクリーンルームを管理しているなら、粒子の発生という問題をよくご存知でしょう。これは静かなる破壊者です。一般的な加熱要素はガスや微細な破片を放出してしまいますが、半導体製造やスマートセンサーのパッケージングにおいては、わず...