رساندن گرما دقیقاً به جایی که نیاز است
در کارخانههای تولید ویفر، افزایش توان الکتریکی راهحل مناسبی نیست. اگر فقط انرژی بیشتری را به مشکل اختصاص دهیم، در واقع انرژی را هدر میدهیم. راز واقعی در نحوه هدایت فوتونها نهفته است.
به همین دلیل از سپرهای کوارتز پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. میتوان آنها را مانند آینههایی در نظر گرفت که مانع از نفوذ گرما به بدنه دستگاه میشوند و گرما را دوباره به سمت ویفر بازمیگردانند.
چرا طلا؟
کوارتز معمولی اجازه میدهد تا تابش مادون قرمز در همه جهات پخش شود. اما وقتی یک لایه نازک طلا اضافه میشود، دیواری ایجاد میشود که گرما نمیتواند از آن عبور کند. ما از طلا استفاده میکنیم؛ زیرا طلا در بازتاب تابش مادون قرمز، بهتر از نقره یا آلومینیوم عمل میکند.
این روش باعث میشود که تمام انرژی الکتریکی وارد شده، دقیقاً به هدف برسد.
مقابله با گرما
نمیتوان از هر نوع شیشهای استفاده کرد؛ ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم، زیرا میتواند در برابر فشارهای شدید مقاومت کند. وقتی کلید دستگاه روشن میشود، دما به سرعت افزایش مییابد. اکثر مواد در چنین شرایطی ترک میخورند، اما کوارتز میتواند در برابر آن مقاومت کند.
ما طلا را با روش واکوئمدپوزیتیون روی سطح کوارتز قرار میدهیم تا در جای خود بماند. اگر این لایه در حین فرآیند گرمایش شروع به پوستهپوسته شدن کند، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد؛ دمای ویفر کاهش خواهد یافت و فرآیند تولید نیز مختل خواهد شد.
توازنهای لازم
نکته خوب این است که وقتی سپرها گرما را به خوبی بازتاب میدهند، دیگر نیازی نیست دستگاهها را با توان کامل روشن کنیم تا دمای مورد نیاز حاصل شود. این موضوع برای فیلامنتهای تنگستن بسیار مفید است؛ زیرا عمر آنها افزایش مییابد.
اما یک مشکل وجود دارد: باید این سپرها را کاملاً تمیز نگه داشت. حتی یک اثر انگشت یا لکه کوچکی روی سطح طلا میتواند باعث ایجاد نقاط گرم شود؛ این امر میتواند باعث خراب شدن ویفر شود.
برای خودتان کار آسانی انجام دهید: قبل از نصب، از الکل با خلوص بالا برای تمیز کردن سطوح استفاده کنید. این کار چند دقیقه زمان میبرد، اما از مشکلات بعدی جلوگیری میکند.