نحوه درست انجام فرآیند خشک کردن ویفرها: کل موضوع به رفلکتور بستگی دارد
بیشتر ما از روش خشک کردن با نور مادون قرمز برای خشک کردن نیمههادیها استفاده میکنیم؛ زیرا این روش بدون استفاده از مواد شیمیایی و بدون ایجاد گازهای سمی است. تنها چیزی که لازم است، الکتریسیته است که به گرما تبدیل میشود. این روش باعث میشود که فرآیند خشک کردن سالم و بدون مشکل انجام شود.
اما مشکل اینجاست: همه توجهات به لامپ معطوف میشود، در حالی که کار واقعی توسط رفلکتور انجام میشود.
جلوگیری از اتلاف گرما
اگر از لامپ خشک کردن بدون رفلکتور دقیق استفاده کنید، در واقع نیمی از انرژی خود را هدر میدهید.
فکر کنید؛ بسیاری از فوتونها به سمت عقب پرتاب میشوند و هیچ کاری انجام نمیدهند. ما رفلکتورهایی طراحی میکنیم که این انرژی هدررفته را دوباره به سمت ویفر هدایت کنند.
این کار باعث افزایش جریان گرما میشود، بدون اینکه نیاز به افزایش توان لامپ باشد. علاوه بر این، سرعت خشک کردن ویفر نیز افزایش مییابد. این موضوع بسیار مهم است؛ زیرا هرچه ویفر بیشتر در حالت گرما قرار داشته باشد، احتمال تغییر شکل آن بیشتر میشود. هیچ کس نمیخواهد با این مشکلات روبرو شود.
جزئیات مربوط به مواد
ما معمولاً از سطوح آلومینیومی با خلوص بالا یا سطوح پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. چرا؟ زیرا این مواد بهترین عملکرد را در بازتاب نورهای مادون قرمز کوتاه و متوسط دارند.
شکل رفلکتور نیز به همان اندازه مهم است. ما از منحنیهای پارابولیک یا بیضوی برای اطمینان از توزیع یکنواخت گرما روی ویفر استفاده میکنیم. اگر انحنای رفلکتور حتی چند میلیمتر اشتباه باشد، نقاط گرم ایجاد میشود؛ و نقاط گرم باعث خشک کردن ناهموار ویفر میشود. این امر منجر به از بین رفتن ویفرها و مشکلات زیاد در کارخانه میشود.
انتخاب سیستم مناسب برای کارخانه شما
مزیت بزرگ سیستمهای با بازتاب بالا این است که میتوانید توان لامپ را کاهش دهید، اما همچنان بازدهی کارخانه را حفظ کنید. هزینههای انرژی شما نیز کاهش خواهد یافت.
حالا، شما باید تصمیم بگیرید: آیا از رفلکتورهای پوشیده شده با طلا استفاده کنید یا نه؟ رفلکتورهای پوشیده شده با طلا بهترین عملکرد را دارند، اما ضعیف هستند. اگر محیط کارخانه کمی ناهموار باشد یا تیم تعمیراتی با دستگاهها بیاحتیاط رفتار کند، رفلکتورها خراب خواهند شد.
در چنین مواقعی، بهتر است از آلومینیوم آنودایز شده استفاده کنید. این مواد کمی کمتر کارایی دارند، اما مقاومت بیشتری دارند.
یک نکته آخر: مطمئن شوید که فنهای خنککننده بتوانند گرمای تولید شده را کنترل کنند. شما نمیخواهید در حالی که سعی در صرفهجویی در انرژی دارید، لامپها خراب شوند.