Warum Gold für Ihre Vakuum-IR-Heizer unverzichtbar ist
Wenn Sie Siliziumwafers im Vakuum erhitzen, haben Sie wahrscheinlich bemerkt, dass die üblichen Regeln nicht gelten. Es gibt keine Luft, durch die die Wärme übertragen werden könnte – daher spielt die Konvektion keine Rolle. Man ist vollständig auf Strahlung angewiesen.
Das Problem ist folgendes: Wenn man einen herkömmlichen, polierten Aluminium- oder Edelstahlreflektor verwendet, verschwendet man im Grunde Geld. Ein großer Teil der Energie geht einfach in den Reflektorkörper verloren, anstatt die Wafer zu erwärmen.
Deshalb verwenden wir Gold.
Die „Magie“ der Reflexionsfähigkeit von Gold
Es klingt vielleicht toll, aber es gibt dafür einen praktischen Grund. Im Infrarotbereich ist Gold äußerst effektiv – es reflektiert über 98 Prozent der abgestrahlten Energie.
Indem wir eine dünne Goldschicht auf den Reflektorkörper aufbringen, sorgen wir dafür, dass die Photonen tatsächlich dorthin gelangen, wohin sie sollen – direkt auf die Wafer. Dadurch wird das Wärmeprofil optimiert und die Aufheizzeit verkürzt. Es ist einfach effizienter.
Schutz der Hardware vor der Hitze
Um eine Wafer auf die gewünschte Temperatur zu bringen, sind hocheffiziente Lampen erforderlich. Doch diese hohe Leistung birgt ein echtes Risiko. Ohne die Goldbeschichtung nimmt der Reflektorkörper alle überschüssigen Strahlen auf. Schon bald überhitzt der Körper – das kann dazu führen, dass die Kammer beschädigt wird oder die Vakuumdichtungen zerstört werden. Das ist ein Albtraum, den man wieder in Ordnung bringen muss. Gold hingegen sorgt dafür, dass die Wärme direkt zum Ziel gelangt und nicht in den Maschinenrahmen geleitet wird.
Die fairen Kompromisse
Gold ist nicht billig. Die Anschaffungskosten sind definitiv höher als bei Aluminium. Zudem muss man vorsichtig damit umgehen. Wenn das Team während der Wartung die Reflektoren mit abrasiven Mitteln reinigt, wird die Goldschicht abgetragen. Sobald das passiert, sinkt die Effizienz drastisch.
Ich empfehle, die Beschichtung alle 1.000 Stunden zu überprüfen. Achten Sie darauf, ob es Spuren von Rost oder Verfärbungen gibt. Wenn solche Anzeichen auftreten, werden die Wafer ihre Zieltemperatur nicht erreichen. Seltsamerweise zeigen die Leistungsmesser weiterhin die gleiche Leistung an – doch die Oberfläche der Wafer bleibt hinter dem Ziel zurück. Das ist eine heimliche Art und Weise, wie die Leistung nachlässt.