Hören Sie auf, auf die Wärmequellen in Ihren Heizsystemen zu warten – es gibt bessere Möglichkeiten, mit den thermischen Belastungen umzugehen.
Falls Sie weiterhin auf die Zirkulation von heißer Luft für die Bearbeitung von Halbleitern angewiesen sind, kennen Sie das Problem: Man schaltet das System ein, wartet darauf, dass die Luft warm wird – und muss anschließend wieder warten, bis die Luft die Wärme tatsächlich an die zu bearbeitenden Bauteile weitergibt.
Das ist langsam und zeitaufwändig – und ehrlich gesagt, eine Zeitverschwendung.
Warum „Luft“ Sie zurückhält
Stellen Sie sich Folgendes vor: Bei der Verwendung von Luftpumpen wird Energie über einen Vermittler übertragen. Man heizt die Luft auf – und die Luft wiederum heizt die Bauteile.
Bei Infrarotstrahlung hingegen wird der Vermittler komplett übersprungen. Es handelt sich dabei um Strahlungsenergie, die mit Lichtgeschwindigkeit auf das Ziel trifft. Anstatt Energie dafür zu verschwenden, jedes Kubikzentimeter des Ofens zu erhitzen, wird die Wärme genau dorthin geleitet, wo sie benötigt wird – nämlich auf das Substrat.
Das Ergebnis? Die Aufheizzeit ist fast sofortig. Je nach verwendetem Material können die Bearbeitungszeiten um 40 % bis 70 % reduziert werden. In Produktionslinien mit hohem Ausstoß bedeutet das enorme Zeitersparnisse.
Die praktischen Aspekte
Der Vorteil ist: Diese Lampen lassen sich anpassen. Durch die Auswahl bestimmter Wellenlängen kann man die Wärme genau dort ausrichten, wo sie benötigt wird – ohne dass der gesamte Reinraum in eine Sauna verwandelt wird.
Aber Vorsicht: Da Infrarotstrahlung sehr konzentriert ist, entsteht eine starke lokale Erwärmung. Wenn man diese Lampen einfach so einbaut, ohne die Befestigungsmechanismen und Kabel richtig zu prüfen, können die Anschlüsse schmelzen. Zudem ist eine effektive Kühlung des Gehäuses notwendig – sonst gerät die Kalibrierung durcheinander.
Der Umstieg
Die gute Nachricht: Der Umstieg von Luftheizung auf Infrarotheizung ist in der Regel ganz einfach. Man muss keine großen Lüfter oder komplizierte Leitungen mehr verwenden – dadurch hat man mehr Platz am Arbeitsplatz. Ich empfehle immer den Einsatz von Quarzkammern in Reinräumen – dadurch bleibt alles sauber und es kommen keine Partikel in den Raum.
Sobald alles verbunden ist, funktioniert das System sofort. Kein weiteres Warten mehr. Man schaltet einfach den Schalter ein – und schon kann man mit der Arbeit beginnen.