Wie man die Trocknung von Wafern richtig durchführt: Es kommt auf den Reflektor an
Die meisten von uns verwenden Infrarotstrahlung zur Trocknung von Halbleitern – schließlich ist diese Methode umweltfreundlich. Es werden keine chemischen Lösungsmittel oder Verbrennungsprozesse benötigt – stattdessen wird elektrische Energie in Wärme umgewandelt. Dadurch bleibt alles „grün“ und es fallen keine Einschränkungen bezüglich des Verzichts auf Blei an.
Aber hier ist das Problem: Die Lampe bekommt zwar all die Anerkennung, doch der Reflektor ist es, der die eigentliche Arbeit leistet.
Vermeiden Sie den Verschwendung von Energie
Wenn Sie eine Trocknungslichtquelle ohne präzisen Reflektor verwenden, verschwenden Sie im Grunde die Hälfte Ihrer Energie. Stellen Sie sich vor: Viele der Photonen gehen einfach zurück – sie bringen nichts. Wir entwerfen unsere Reflektoren so, dass sie diese verschwendete Energie wieder zurück zum Wafer leiten. Dadurch erhöht sich der Wärmestrom, ohne dass man die Leistung der Lampe erhöhen muss. Zudem wird die Erhitzung des Wafer viel schneller erreicht. Das ist wichtig – je länger ein Wafer in diesem „Erhitzungszustand“ verweilt, desto größer ist die Gefahr, dass er verformt oder beschädigt wird. Das möchte doch niemand.
Materialien – was wirklich zählt
Wir verwenden in der Regel hochreines Aluminium oder Substrate mit Goldbeschichtung. Warum? Weil diese Materialien am besten dazu geeignet sind, kurzwellige sowie mittelwellige Infrarotstrahlen zurückzuschicken. Die Form des Reflektors ist genauso wichtig wie das Material selbst. Wir verwenden parabolische oder elliptische Kurven, damit die Wärme gleichmäßig auf den Wafer trifft. Wenn die Kurve auch nur um wenige Millimeter abweicht, entstehen Hotspots. Und Hotspots bedeuten eine ungleichmäßige Trocknung – was wiederum dazu führt, dass ganze Chargen von Wafern verschwendet werden müssen.
Die richtige Ausstattung für Ihre Produktionsstätte
Der Vorteil einer hochreflektierenden Ausstattung besteht darin, dass man die Leistung der Lampe senken kann, ohne dass die Durchsatzrate beeinträchtigt wird. Dadurch spart man Geld.
Jetzt müssen Sie sich entscheiden: Goldbeschichtete Reflektoren sind die beste Wahl – doch sie sind empfindlich. Wenn die Produktionsstätte etwas staubig ist oder die Mitarbeiter unvorsichtig mit den Geräten umgehen, können die Reflektoren beschädigt werden. In solchen Fällen ist anodisiertes Aluminium eine bessere Alternative. Es ist zwar etwas weniger effizient, aber äußerst widerstandsfähig.
Noch ein Tipp: Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühllüfter mit der konzentrierten Wärme umgehen können. Sie wollen schließlich nicht, dass die Lampen beschädigt werden, während Sie versuchen, Energie zu sparen.