لائن پر، تھرمل ڈرفٹ صرف گراف پر ہی ظاہر نہیں ہوتا؛ بلکہ یہ پیداواری صلاحیت کو بھی کم کر دیتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کو نرم کرنے کے عمل میں 2°C کا اختلاف بھی پورے لیتھوگرافی عمل کو تباہ کر سکتا ہے۔ ویفر کو خشک کرنے کے دوران اگر کوئی سرد جگہ موجود ہو، تو وہاں داغ اور ذرات جم جاتے ہیں۔ انفراریڈ حرارت، ان مسائل کو دور کرنے میں مددگار ثابت ہوتی ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
انفراریڈ، توانائی کو اسی جگہ اور اسی وقت فراہم کرتا ہے جہاں اور جب اس کی ضرورت ہے، بغیر چیمبر کو گرم کرنے کی ضرورت کے۔ ہمارے NIR ایمیٹرز، سبسٹریٹ پر تیزی سے اثر کرتے ہیں، اور ویفر کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر برقرار رکھا جا سکتا ہے۔ کلین روم کلاس 1–100 بھی ممکن ہے، کیوں کہ ہارڈویئر کو کم گیس خارج کرنے والے مواد سے بنایا گیا ہے، اور اس سے کوئی ذرات بھی خارج نہیں ہوتے۔ فوٹوریزسٹ کو خشک کرنے کا عمل بھی قابل تکرار ہے، اور سسٹم 24/7 کام کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے، اور اس کی دیکھ بھال بھی منصوبہ بند طریقے سے کی جاتی ہے، جس سے کام میں کوئی رکاوٹ نہیں آتی۔
یہ کيوں کارگر ہے؟
ویفر کو خشک کرنے کے دوران، انفراریڈ سطح پر موجود نمی کو دور کرتا ہے، بغیر درجہ حرارت میں اضافے کے؛ اس طرح کوئی نقصان نہیں ہوتا۔ لیتھوگرافی میں، نرم اور سخت بیکنگ کے عمل سے، تمام پیرامیٹرز یکساں رہتے ہیں، کیوں کہ تھرمل بجٹ مستقل رہتا ہے۔ پیکیجنگ کے دوران، عمل تیزی سے ہوتا ہے، اور کم توانائی کی ضرورت ہوتی ہے۔ صفائی اور خشک کرنے کے دوران، باقیات صاف طور پر بخارات بن کر غائب ہو جاتی ہیں، جس سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت نہیں پڑتی۔ اس طرح، فضول ویفرز کم ہو جاتے ہیں، عمل مستحکم رہتا ہے، اور پیداواری صلاحیت بھی بہتر رہتی ہے۔
کون سی باتیں سخت تجربے سے سیکھی جاتی ہیں؟
انفراریڈ، تب ہی کارگر ثابت ہوتا ہے جب دیکھنے کا راستہ صاف ہو۔ چکس یا فکسچرز کی وجہ سے پیدا ہونے والے سائے، مقامی سرد علاقے پیدا کرتے ہیں؛ لہذا ٹولوں کی تنصیب اور ایمیٹرز کی جگہ کا انتخاب پہلے ہی کرنا ضروری ہے۔ تھرمل بجٹ کو اپنے موجودہ طریقوں کے مطابق سیٹ کریں، اور یہ بھی یقینی بنائیں کہ ایمیٹرز کی کارکردگی مطلوبہ سطح پر ہے۔ اگر یہ سب صحیح طریقے سے کیا جائے، تو کم لاگت پر بہتر کارکردگی حاصل کی جا سکتی ہے، بغیر کام کے وقت میں کسی کمی کے۔