لیتھوگرافی کے عمل میں، آدھے ڈگری جتنا بھی تغیر ہو جائے، تو اس سے پروڈکٹ کے اہم ابعاد متاثر ہو جاتے ہیں، اور پوری پیداوار برباد ہو سکتی ہے۔ “تھرمل بجٹ” کو کسی صورت میں تبدیل نہیں کیا جا سکتا۔ ہم نے ویفر ٹولز کے لئے یہ انفراریڈ لیمپ ساکٹ تیار کیا ہے، تاکہ عمل کا درجہ حرارت بالکل درست رہے – ہر ویفر کے لئے، ہر وقت۔
اسکے پیچھے کیا عوامل اہم ہیں؟
اگر اس ساکٹ کو شارٹ-ویو یا میڈیم-ویو انفراریڈ ایمیٹرز کے ساتھ استعمال کیا جائے، تو تیز اور صاف گرمی حاصل ہوتی ہے۔ یہاں ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C ہے، جس کی وجہ سے سافٹ بیک اور ہارڈ بیک عمل میں استحکام برقرار رہتا ہے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی اخراج کی شدت 5% سے کم رہتی ہے۔
کوارٹز انٹرفیس اور اعلیٰ خالصیت والے سیرامک مواد کی وجہ سے…
یہ ڈیزائن کلاس 1–100 کے کلین رومز کے لئے ہے؛ اس طرح ذرات کی تعداد بڑھتی نہیں، اور یہ پروسیس چیمبر میں داخل نہیں ہوتے۔ برقی لحاظ سے، یہ 200–240 VAC ان پٹ کو سپورٹ کرتا ہے، اور اس میں ٹول-میچڈ کنیکٹرز اور انٹیگریٹڈ EMI شیلڈنگ بھی موجود ہے۔ تھرمل لوپ بھی پرسکون اور قابو میں رہتا ہے۔
ویفر ٹولز میں اس کیوں کارگر ہے؟
ویفر ٹولز میں، گرمی کو تیزی سے پہنچانا ضروری ہے، اور پھر اسے مستقل رکھنا بھی ضروری ہے۔ یہ ساکٹ جلدی سے درست درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، اور اس کی وجہ سے فوٹوریزسٹ کی خصوصیات ہر ویفر کے لئے یکساں رہتی ہیں۔ اس طرح ناخوشگوار حالات کم ہوتے ہیں، پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے، اور دیکھ بھال کے وقفے بھی پیشن گوئی کے مطابق رہتے ہیں۔
NIR کی وجہ سے…
NIR کی وجہ سے زیادہ توانائی ویفر پر گرمی کی شکل میں خرچ ہوتی ہے، بجائے اس کے کہ یہ توانائی ضائع ہو جائے۔ اس طرح ہزاروں ویفرز کی پروسیسنگ کی جا سکتی ہے، بغیر کسی غیرمتوقع رکاوٹ کے۔
عملی تفصیلات…
ماؤنٹنگ کی حد بہت سخت ہے؛ ایمیٹر، ساکٹ، اور ریفلیکٹر کو 0.2 ملی میٹر کے اندر ہی رکھنا ضروری ہے، ورنہ یکسانیت متاثر ہو جائے گی۔ زیادہ توانائی کی صورت میں، ساکٹ کا درجہ حرارت 600°C سے بھی زیادہ ہو سکتا ہے؛ لہذا قریبی پولیمرز اور کیبلز سے فاصلہ رکھنا ضروری ہے۔
مخصوص تھرمل انٹرفیس اور کلین روم-کمپیٹیبل فکسچرز کا استعمال کریں…
انسٹالیشن کے بعد بیس لائن یکسانیت کا چارٹ بنانا ضروری ہے۔ یہ ساکٹ زیادہ تر ٹول کنٹرولرز کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن پیرامیٹرز کو درست کرنے کے لئے کیلیبریشن کی ضرورت پڑ سکتی ہے۔