Yarı iletken üretiminde karbon emisyonlarını azaltmak (Ekipmanlarınızı bozmadan)
Yarı iletken üretiminde yıkama aşamalarıyla uğraşırken dengeli bir yaklaşım sergilemek gerekiyor. Waferlerdeki nemi hızla uzaklaştırmak gerekiyor; ancak en ufak bir kirlenmeye de izin verilemez.
Uzun süre boyunca insanlar sadece konvektif ısıtma yöntemine başvurdu – yani her yere sıcak hava üflemek. Ancak biz daha iyi bir çözüm bulduk: su geçirmez kızılötesi lambalar.
Nemli ortamlarla mücadele
Yıkama hatları, donanımlar için oldukça zorlayıcıdır. Sürekli nem ve kimyasal buharlar nedeniyle normal lambalar işlevini yerine getiremez. Lambaların erken bozulmasını önlemek için özel kuvars kaplamalar ve sızdırmazlık elemanları kullanılır. Böylece nem elektrotlardan uzak tutulur. Ayrıca yüksek watt yoğunluğu da tercih edilir. Neden mi? Çünkü yüzeyin anında kurumasını sağlamak istiyorsunuz. Waferin bu geçiş bölgesinde kalma süresi ne kadar az olursa, verimlilik o kadar artar.
“Su geçirmez” konusu
“Su geçirmez” derken yağmurluklardan bahsetmiyoruz. Burada kastettiğimiz, buhar ve sıçramaların cihazın içine girmesini engelleyen yüksek sıcaklıkta olan contalar ve sızdırmaz kaplamalardır.
Ancak bir sorun var: Kuvars ısındığında genleşir. Eğer montaj braketleri çok sıkıysa, tüp ısı döngüsü sırasında zarar görebilir. Bu durumdan kaçınmak için genleşme oranlarını mükemmel şekilde ayarlamaya özen gösteriyoruz.
Enerji tasarrufu (ve sinirlerinizin korunması)
Büyük boyutlu hava ısıtıcılarından hedefe yönelik kızılötesi ısıtma sistemlerine geçmek, gezegen için büyük bir avantajdır. Bir odadaki her birim havayı ısıtmak yerine, kızılötesi ışınlar enerjiyi doğrudan yüzeye gönderir. Bu hem etkili hem de verimlidir. Böylece wafer başına gereken enerji miktarı azalır ve “yeşil fabrika” standartlarını karşılamak çok daha kolay hale gelir.
Bir uyarı: Bu lambalar çok fazla ısı yayılımı yapar. Eğer soğutma ve havalandırma sisteminiz yeterli değilse, çevredeki sensörler aşırı ısınabilir. Her şeyin düzgün çalışması için hassas bir PID kontrol döngüsü kullanılmasını öneriyoruz. Bu sayede hedef sıcaklığa ulaşılır ve aşırı ısınma sorunu ortadan kalkar.