Neden temiz odalarda kızılötesi kurutma yöntemini kullanıyoruz?
Yarı iletken üretim tesislerinde çalışırken “temizlik” sadece bir hedef değil, her şeydir. En küçük bir kir parçası bile tüm ürün partisini mahvedebilir.
Uzun süre boyunca insanlar konveksiyon fırınlarına güvendiler. Ancak buradaki sorun şu: Bu fırınlar sadece zorla hava üfler. Wafer henüz ısınmadan önce odayı ısıtmak için çok fazla elektrik harcanır. Ayrıca, bu kadar çok havanın hareket etmesi de tozların ortaya çıkmasına neden olur.
İşte bu yüzden kızılötesi kurutma yöntemini kullanıyoruz. Aslında havayı devre dışı bırakıyoruz.
Parçayı ısıtıyoruz, odayı değil…
Bunu, soğuk bir günde güneşin altında durmak gibi düşünün. Etrafınızdaki hava donmuş olsa bile ısısını hemen hissedersiniz. Kızılötesi yöntemi de aynen böyle çalışır. Enerji doğrudan malzemeye geçer.
Bu yöntem oldukça hassas olduğu için eski tip çözücüler ve kurşun içeren maddelerden vazgeçebiliriz. Kullandığımız foto direnç veya yapıştırıcının dalga boyuna göre ayarlamalar yaparak hedef sıcaklığa birkaç saniye içinde ulaşabiliriz. Bu oldukça hızlıdır.
Enerji tüketimini ve riskleri azaltmak…
Çoğu termal tünel sürekli olarak çalışır; her şeyin sabit kalması için 24/7 çalışır ve bu da büyük bir enerji israfı demektir.
Kızılötesi lambalar ise farklıdır. Anında çalışırlar. Wafer yerine oturduğu anda çalışmaya başlarlar. Böylece kWh tüketimi önemli ölçüde azalır. Ayrıca, yanma veya hava akışı olmadığı için Class 10 standartlarında olan temiz odalar da temiz kalır.
Zor kısım…
Ancak her şey bu kadar basit değil. Yüksek yoğunluktaki kızılötesi ışınlar ciddi derecede lokal ısı oluşturur. Eğer wafer inceyse veya yüksek sıcaklıklara dayanamıyorsa bükülebilir. Bu bir felaket olur. Bunu önlemek için sağlam bir PID kontrol cihazı ve kapalı döngülü termometrelere ihtiyaç vardır.
Genellikle lambaların periyodik olarak çalıştırılmasını öneririm. Sürekli %100 güçle çalışmak yerine, aralıklarla çalıştırılırsa termal gradyan kontrol altında tutulur ve ekipman korunmuş olur.
Sonuç olarak, kızılötesi yöntemine geçmek sadece “yeşil olmak” anlamına gelmez. Aynı zamanda işlem sürelerini azaltmak ve zararlı kurşun içeren kimyasallardan kurtulmak anlamına gelir. Eğer kabloları doğru şekilde bağlar ve soğutmayı kontrol altında tutarsanız, bu en temiz işlem yöntemidir.